Präzision und Stabilität

Das VAT-Vakuumventil-Portfolio für Dünnschicht-Beschichtungsprozesse ist auf einen präzisen, stabilen Betrieb auch bei wechselnden Prozessbedingungen ausgelegt. Wesentliche Merkmale sind dabei präzise Gasflusssteuerung auch bei kleinen Leitwerten, minimierte Restgas- und Partikelemission sowie ein modulares Design, um die benötigten Vakuumventile optimal auf die jeweiligen Prozessanforderungen auslegen zu können.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT-Vakuumventillösung Herausforderungen in Dünnschicht-Beschichtungsprozessen lösen kann, wählen Sie bitte unten eines der Produkte aus.

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