VAT Vakuumisolationsventil-Lösungen. Übersicht über die verschiedenen pneumatisch- und elektrisch-angetriebenen Vakuumventilbaureihen und -technologien.
Die Allzweck-Lösung für anspruchsvolle Anwendungen
Die Allzweck-Absperrlösung
Bei begrenzen Einbauraum (DN 63 - 100)
Bei begrenztem Einbauraum (DN 50)
Die flexible Lösung für Isolationsanwendungen mit hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom
Die sichere Lösung für Isolationsanwendungen mit sehr hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom
Der Standard für Isolationsanwendungen mit hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom
Der Standard für UHV-Absperrung
Der Standard für Hochvakuumabsperrung
Der Standard für Vakuum-Absperrung
Für die Standard-Hochzyklus-Vakuum-Absperrung
Außergewöhnlich niedrige Stoß- und Partikelfreisetzung
Der Standard für Isolationsanforderungen in Evaporator- und Sputter-Anwendungen
Kompaktes Design für große Vakuumvolumen und raue Bedingungen
Zuverlässig unter rauen Bedingungen
Der Standard, wenn große Durchmesser gefordert sind
Sichere Absperrung bei kontaminierenden und aggressiven Vakuum-Prozessen
Sichere Absperrung bei kontaminierenden und aggressiven Vakuum-Prozessen (Version mit erweitertem Gehäuse)
Zuverlässige Absperrung in kompakter Bauform
Kompromisslose Zuverlässigkeit für große Volumenströme
Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen
Perfekter Rückflussschutz
Zum Abpumpen und Entlüften von HV-Systemen.
Kompromisslose Zuverlässigkeit
Herausragend niedrige Ausgasungsrate
Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse (DN 25 - 80)
Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse
Vermeidet Turbulenzen oder Kondensation, großes Leitwertspektrum (DN 100 - 160)
Zuverlässige Sektor-Absperrung für Speicherringe oder Mikrowellenstrahlanlagen (DN 200)
Zuverlässige Sektor-Absperrung für Speicherringe oder Mikrowellenstrahlanlagen (DN 40 - 160)
Für hohe Temperaturen (DN 16, 40, 200, 250, 320)
Für hohe Temperaturen (DN 63, 100, 160)
Für extreme UHV/XHV-Anforderungen
Für extreme Temperatur- und Strahlungsanforderungen (DN 63 - 160)
Für extreme Temperatur- und Strahlungsanforderungen (DN 10 - 40)