67.0 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

Strömungssymmetrisches Regelventil

Durchflussoptimierte Druckregelung

64.8 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

UHV-Regelschieber

Für Vakuumregelung und -absperrung

65.5 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)

HV-Pendel-Regelventil

Ideal für korrosive Ätzanwendungen mit hohem Prozessdruck und geringen Volumenströmen

64.2 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)

HV-Regel-Schieber

Für Hochzyklus-Vakuumregelung und -Isolation

65.3 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)

HV-Pendel-Regelventil

Optimierte Downstream-Druckregelung und -Vakuumisolation in SEMI- und Display-Systemen

62.0 1 × 10-8 mbar to 1.4 bar (abs)

HV-Eck-Regelventil

Die Lösung für hohe Drücke und hohe Temperaturen

61.6 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Regel- und Isolations-Klappenventile

Schnelle & präzise Downstream-Druckregelung und -Absperrung

61.3 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

Regelklappenventil

Schnelle & präzise Downstream-Druckregelung

95.3 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Regel- und Isolationsventil-Kombisystem

Kompakt und leistungsstark