Kernfunktion: Regelung von Volumenströmen. Maßgeblich sind dabei der Stellbereich des min. und max. Leitwerts, sowie die Präzision und Zuverlässigkeit der Steuerung und Regelmechanik.
Schnelle, präzise Downstream-Druckregelung
Schnelle, präzise Downstream-Druckregelung und -Absperrung
Die Lösung für hohe Drücke und hohe Temperaturen
Für Hochzyklus-Vakuumregelung und -Isolation
Für Vakuumregelung und -absperrung
Optimierte Downstream-Druckregelung und -Vakuumisolation in SEMI- und Display-Systemen
Ideal für korrosive Ätzanwendungen mit hohem Prozessdruck und geringen Volumenströmen
Durchflussoptimierte Druckregelung
Kompakt und leistungsstark