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Sub-Fab-Systeme

Sub-Fab-Prozesse können eine Herausforderung sein: Korrosive, abrasive und toxische Gase, Kondensation und hohe Anteile von Nebenprodukten im Gasstrom können die Funktionalität und Zuverlässigkeit von Vakuumventilen stark beeinträchtigen. Zu den Schlüsselfunktionen von Vakuumventilen gehören: Vermeidung von Rückflusskontamination, Volumenstromregelung und Pumpenabsperrung.

Zuverlässigkeit, Sicherheit und Verfügbarkeit sind die entscheidenden Erfolgskriterien für Vakuumventile in Sub-Fab-Systemen. Basierend auf der Erfahrung von Tausenden von Vakuumventil-Installationen in Sub-Fab-Prozessen weltweit deckt das umfassende und bewährte VAT Vakuumventilportfolio alle Sub-Fab-Anforderungen ab.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung dabei helfen kann, Herausforderungen bei Sub-Fab-Systemen zu bewältigen, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Baureihen.

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25.1

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (Inline-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Zylinderventil  (3/2 Wege-Version)

25.2

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (3/2 Wege-Version)

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Weitere Produkte

Metall-Membranbälge

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