Präzision & Sensibilität

Präzision ist nicht nur bei der Steuerung vakuumassistierter Produktionsprozesse entscheidend sondern auch beim Handling der bearbeiteten Substrate. Die Zuverlässigkeit und Präzision bei der Bewegung von z.B. Silizium-Wafern in der Halbleiterfertigung ist entscheidend für die Fertigungsqualität und die Effizienz des Durchsatzes. VAT bietet seinen Kunden seit Jahren im Rahmen der Fertigung von Vakuummodulen auch die Integration von Bewegungskomponenten an. Mit den VAT Hochleistungs-Vakuum-Bewegungskomponenten stellt VAT diese Komponenten interessierten Kunden jetzt auch unabhängig von seinen integrierten Lösungen zur Verfügung.

Als eine der ersten Produktgruppen im Bereich der Hochleistungs-Vakuum-Bewegungskomponenten bietet VAT mechatronische Wafer-Lift-Systeme an.

Alle VAT Hochleistungs-Vakuum-Bewegungskomponenten sind maßgeschneidert für die spezifischen Anwendungsanforderungen. Profitieren Sie von unserer umfangreichen Erfahrung, mit tausenden von VAT Modulen mit Bewegungskomponenten im weltweiten Einsatz.

Sprechen Sie uns an, wenn Sie mehr über erfahren möchten.