98.0 Mechatronic-Wafer-Lift-System
für synchronisiertes Heben mit hoher Leistung
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Bringen Sie Ihre Semi-Prozess-Module auf die nächste Leistungsstufe
Das 98.0 Mechatronic-Wafer-Lift-System von VAT kombiniert mechanische, elektrische und Software-Design-Technologien, um eine einfachere und intelligentere Lösung für Wafer-Handling-Systeme zu schaffen, die die Halbleiterfertigung optimiert. Die Kernfunktion besteht darin, eine präzise Wafer-Lift-Bewegung mit einem möglichst sanften Bewegungsprofil zu ermöglichen, das für die Minimierung von Vibrationen und Erschütterungen optimiert ist. Das Design des 98.0 konzentriert sich auf die Minimierung des Platzbedarfs, was durch drei kleine, sehr kompakte, unabhängig voneinander angetriebene Lifte erreicht wird, im Gegensatz zu Lösungen mit einem zentralen Antrieb, die anspruchsvoller zu integrieren sind. Die zentrale Steuereinheit des Systems gewährleistet eine absolut synchronisierte Bewegung zwischen den drei Liften.
Aufbauend auf der Technologie unserer neuesten Generation von schnellen mechatronischen Ventilen und Bewegungskomponenten ist das Bewegungsprofil des Wafer-Lift-Systems vollständig programmierbar und ermöglicht so eine überlegene Steuerung im Vergleich zu alternativen Lösungen mit hydraulischen und pneumatischen Antrieben. Das 98.0 verwendet einen EC2 (32-Bit)-Controller, der das einstellbare Bewegungsprofil alle Wafer-Lifts perfekt synchronisiert - in allen Geschwindigkeitsstufen. Ein automatischer Kalibriervorgang garantiert höchste Positionsgenauigkeit. Die integrierte Selbstdiagnose-Software des Controllers warnt frühzeitig, wenn das System gewartet werden muss. Das macht es einfach, vorauszuplanen und unerwartete Leistungsabfälle zu vermeiden.
Der Controller kann über verschiedene Schnittstellenanschlüsse einfach in jede Prozesssteuerung integriert werden.
Maßgeschneidert speziell für Halbleiterproduktions- und Forschungsanwendungen, um anspruchsvollste Kundenanforderungen zu erfüllen, ergänzt das 98.0 Mechatronic-Wafer-Lift-System die Vakuumlösungen von VAT, die Ventile, Faltenbälge, Steuerungen sowie integrierte Module umfassen.
Das 98.0 Mechatronic-Wafer-Lift-System besteht aus drei Wafer-Liften, der EC2-Steuereinheit und dem Verbindungskabelstrang zwischen den Liften und der Steuerung. Die Lifte sind in drei Größen für 15, 30 und 60 mm Hub erhältlich. Die Liftantriebe sind BLDC-Motoren mit integrierter Bremse und Encoder. Die Stiftdurchführungen sind faltenbalggedichtet. Für die Wafer- und Druckerkennung ist eine Softwareerweiterung erhältlich.
Hauptmerkmale des
98.0 Mechatronic-Wafer-Lift-Systems
Merkmale:
- Proprietärer Algorithmus zur Glättung der Bewegung zwischen den Bewegungsschritten
- Höchste Positionsgenauigkeit: vollautomatischer Kalibriervorgang
- Gesicherte Synchronität: verhindert Wafer-Verschiebungen
- Wafer- und Druckerkennung (add-on)
Vorteile:
- Einstellbares Profil mit Bewegungsstufen
- Optimale Steuerung: hochauflösender Encoder und präzise Mechanik
- Minimierte Vibrationen und Stöße
- Minimierter Platzbedarf
- Geringer Stromverbrauch: keine Druckluft erforderlich