Das VAT Transferventil-Portfolio für den Substrattransfer ist auf einen präzisen, stabilen Betrieb auch bei wechselnden Prozessbedingungen ausgelegt. Je Baureihe wird in allen Leistungsparametern immer auf die jeweiligen spezifischen Kundenbedürfnisse angepasst. Wesentliche Merkmale sind dabei anpassbare Öffnungs- und Schließzyklen, eine präzise, adaptive Dichtung die Überpressungen vermeidet, eine reibungsfreie L-Bewegung aus einem oder zwei Antrieben sowie die Vermeidung von Partikelaktivierungen.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Transferventillösung Herausforderungen im Substrattransfer lösen kann, wählen Sie aus den unten aufgeführten Baureihen aus.