Zuverlässige Isolierung mit gleichmäßiger Teller-Kompression

Das 05.3 HV-Transferventil-Insert mit L-Motion Technologie ist besonders geeignet für korrosive Prozesse wie z. B. Ätzen oder CVD. Die L-Motion-Technologie ermöglicht L-Bewegung des Tellers durch nur einen pneumatischen Antrieb. Bei dieser L-Bewegung wird der Teller über den Langhubzylinder in die „Optisch-Geschlossen-Position“ bewegt - ohne Kontakt zum Ventilgehäuse - und in der Endbewegung über den Kurzhubzylinder an den Tellersitz gepresst. Die Tellerdichtung berührt dabei in allen Bereichen gleichzeitigt den Tellersitz, mit genau dem gleichen Anpressdruck. Dies vermeidet nicht nur jegliche Reibung und damit mögliche Partikelbildung, sondern minimiert auch den Verschleiß der Dichtung.

Die Teller sind mit vulkanisierten Dichtungen ausgestattet, um eine Partikelfreisetzung und -aktivierung weiter zu minimieren. Vulkanisierte Dichtungen sind, im Vergleich zu O-Ringen, eine sehr zuverlässige und langlebigere Dichtungslösung. Darüber hinaus ist die Schiebedurchführung mit hochbeständigen, geschweißten Metallfaltenbälgen abgedichtet.

Um eine gleichmäßige Dichtungsqualität über die gesamte Länge des Tellers zu gewährleisten, ist der Teller mit einem speziellen Druckbalken ausgestattet. Der Druckbalken garantiert eine gleichmäßige Verteilung des Druckes in jedem Bereich des Tellers.

Bei Stromausfall kann das 05.3 in der Schließstellung pneumatisch verriegelt werden.

Das 05.3 HV-Transfer-Insert mit L-Motion ist für einen langen wartungsfreien Betrieb ausgelegt (bis zu ≤ 3 Millionen Zyklen bis zur ersten Wartung).

Die 05.3 Baureihe wurde bereits in hunderten von anspruchsvollen Anwendungen in verschiedenen Halbleiterproduktionsprozessen installiert und hat ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit einem robusten Design sowie einer reduzierten und einfachen Wartung überzeugt die 05.3 Baureihe in allen Belangen.

05.3 HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION

Insert 05.3

05.3 HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION - Geschlossen
Geschlossen
05.3 HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION - Optisch geschlossen
Optisch geschlossen
05.3 HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION - Offen
Offen

Das 05.3 HV-Transferventil-Insert mit L-Motion wird stets nach Kundenwunsch gefertigt. Dennoch sind vier Grundbauformen vordefiniert: zwei Ventiltypen mit unterschiedlichen rückseitigen Öffnungen und zwei Inserttypen mit Innen- oder Außenkammer-Ventilsitz.

Als Material für das Ventilgehäuse stehen Aluminium, hartanodisiert oder vernickelt sowie Edelstahl zur Verfügung. Die Teller- und Kopfdichtungen sind aus FKM oder FFKM. Andere Dichtungsmaterialien sind auf Anfrage erhältlich.


Hauptmerkmale des 05.3 HV Transfer Insert mit L-Motion

Merkmale:

  • Zuverlässiger Betrieb unter korrosiven Prozessbedingungen
  • L-Motion-Technologie zur Vermeidung von Partikelfreisetzung und -aktivierung
  • Druckleiste für gleichmäßige Tellerdruckverteilung
  • Balggedichtete Schiebedurchführung
  • Verlängerte wartungsfreie Betriebszeit
  • Leichtgängige, erschütterungsarme Bewegung

Vorteile:

  • Hohe Betriebszeit / uneingeschränkte Leistung
  • Schneller Betrieb
  • Geringe Betriebskosten
Technische Daten
Grössen   50 x 336 mm to 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" to 3.15" x 19.69")
Antrieb Pneumatisch Doppeltwirkend mit Lagemelder
Gehäusewerkstoff   Aluminium oder Aluminium hartanodisiert
Durchführung   Balg
DICHTUNGSTECHNIK   L-MOTION (siehe Glossar)
LECKRATE AN VENTILGEHÄUSE UND VENTILSITZ IN MBAR LS-1 Dichtungsfläche Dichtung
    FKM
Gehäuse

Sitz
FFKM (FKM Zalak 5100)
Gehäuse

Sitz
  Blankes Metall (gefräst / kugelpoliert) < 1 × 10-9 < 1 × 10-9 < 1 × 10-8 < 1 × 10-7
  Hartanodisierties Aluminium < 1 × 10-5 < 1 × 10-4 < 1 × 10-5 < 1 × 10-4
  Nickelbeschichtetes Aluminium < 1 × 10-9 < 1 × 10-9 < 1 × 10-8 < 1 × 10-7
Druckbereich Metall, blank oder vernickelt 1 × 10-9 mbar to 1.1 bar (abs)
  Aluminium, hartanodisiert 1 × 10-6 mbar to 1.1 bar (abs)
DIFFERENZDRUCK AM SCHIEBER   1.1 bar
DIFFERENZDRUCK BEIM ÖFFNEN   ≤ 30 mbar
Zyklen bis zu ersten Wartung   ≥ 3 Millionen (bis DN 50 × 336 mm)
≥ 2 Millionen (DN 80 × 500 mm)
Temperatur Ventilkörper, Teller ≤ 120 °C
  Antrieb ≤ 80 °C
Aufheiz- und Abkühlrate   ≤ 40 °C h-1
Werkstoff Ventilgehäuse, Teller, Servicedeckel EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315)
  Balgendstücke,Stange AISI 316L (1.4435, 1.4404)
  Balg AISI 633 (AM 350)
Dichtung Teller, Servicedeckel FKM
Einbaulage   Antrieb oben oder unten
Impulssteuerventil   24 VDC, 2.5 W (andere auf Anfrage)
Lagemelder: Schaltleistung Spannung ≤ 50 V AC/DC
  Strom ≤ 0.1 A > 5 mA
  Anschluss 9-polig, Subminiatur D
Druckluftanschluss   Schnellanschluss O.D. 6 mm

 

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