Präzision und Stabilität

Das VAT-Vakuumventil-Portfolio für Dünnfilm-Abscheidung ist auf einen präzisen, stabilen Betrieb auch bei wechselnden Prozessbedingungen ausgelegt. Wesentliche Merkmale sind dabei präzise Gasflusssteuerung auch bei kleinen Leitwerten, minimierte Restgas- und Partikelemission sowie ein modulares Design, um die benötigten Vakuumventile optimal auf die jeweiligen Prozessanforderungen auslegen zu können.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT-Vakuumventillösung dabei helfen kann, Herausforderungen bei der Dünnfilm-Abscheidung zu lösen, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Produkten.