Semiconductor-Produktion

Schnelle Innovationszyklen in der Halbleiterproduktion verlangen eine ständige Optimierung der Produktionsprozesse für bestehende wie neue Produktionsanlagen. Vakuumventile, die Standards in puncto Reinheit und Partikelarmut sowie in puncto Steuerbarkeit, Geschwindigkeit und Verfügbarkeit setzen sind dabei das Rückgrat einer optimierten Produktion.

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Solarmodul-Produktion

Hersteller von Solarmodulen stehen vor vielen Produktionsherausforderungen: wachsende Substratabmessungen, Steigerung des Durchsatzes bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung einer hohen Anlagenverfügbarkeit und Prozessstabilität, Senkung der Betriebskosten. Bedingungen, denen sich auch die eingesetzten Vakuumventile, insbesondere Transferventile, mit innovativen Konzepten stellen müssen.

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Display-Produktion

Die globale Display-Industrie ist getrieben von immer größeren Glassubstratabmessungen, dem Wechsel von LCD- zu OLED-Technologie, komplexeren Display-Fertigungsprozessen sowie der Optimierung bestehenden Produktionsanlagen. Diese Dynamik fordert Hochleistungs-Vakuumventil-Lösungen, die zu Qualitäts- und Produktivitätssteigerungen beitragen.

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Leuchtmittelproduktion (LED, OLED)

Da sich LED- wie auch in zunehmendem Maß OLED-Beleuchtung zu einem Massenmarkt entwickelt hat, ist die Produktion stark kostengetrieben. Hohe Produktionsqualität und hohe Stückzahlen definieren daher auch den Rahmen für die Entwicklung der erforderlichen Vakuumventillösungen. Maßgebend sind dabei Zuverlässigkeit, geringe Wartung und niedrige Betriebskosten.

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Sub-Fab-Systeme

Sub-Fab-Prozesse können eine Herausforderung sein: korrosive, abrasive und toxische Gase und/oder Kondensation und hohe Anteile von Nebenprodukten im Gasstrom können die Funktionalität und Zuverlässigkeit von Vakuumventilen stark beeinträchtigen. Zu den Schlüsselfunktionen von Vakuumventilen gehören: Vermeidung von Rückflusskontamination, Volumenstromregelung und Pumpenabsperrung.

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Forschung

Das Spektrum der vakuumunterstützten F&E-Anwendungen reicht von spezialisierten Großforschungsanlagen bis zu Laboranwendungen. Allen gemeinsam ist der Anspruch die Grenzen des technisch möglichen auszuloten um die Sensibilität und Qualität der Messungen zu verbessern. Für die eingesetzten Vakuumventile bedeutet dies: Verbesserte Steuerbarkeit, zuverlässige, langzeitstabile Absperrung auch unter extremen Bedingungen sowie inertes physikalisches Verhalten unter Vermeidung jeglicher Emissionen.

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Wissenschaftliche Instrumente

Das Spektrum wissenschaftlicher Instrumente reicht von maßgeschneiderten großtechnischen Anlagen in staatlichen oder halbstaatlichen Forschungseinrichtungen bis hin zu standardisierten Hightech-Instrumenten wie Massenspektrometern und Elektronenmikroskopen, die in unterschiedlichen Bereichen eingesetzt werden.

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Dünnfilm-Beschichtung

Für Dünnschicht-Beschichtungsprozessen werden eine Reihe unterschiedlicher Verfahren eingesetzt, z.B. CVD, PVD, MOCVD oder PECVD. Allen Prozessen gemeinsam ist, das sie unter kontrollierten atmosphärischen Bedingungen, z.B. unter Argon-Atmosphäre und unter Vakuum ablaufen. Entscheidenden für die Effizienz des Beschichtungsprozesses ist dabei die genaue Kontrolle des Vakuums und der Gasverteilung. VAT Ventiltechnologien setzen Standards in diesem Bereich.

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Industrie

Die Zahl der Vakuumanwendungen ist nahezu unbegrenzt. In fast allen Industriebereichen spielen Vakuumanwendungen bei der Lösung verschiedenster Produktions- und Fertigungsaufgaben eine wichtige Rolle. VAT hat für fast alle Anwendungen die passende Lösung.

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Medizin & Pharmazie

Vakuum und damit Vakuumventillösungen sind für verschiedene medizinische Bereiche und Geräte entscheidend. Das Spektrum reicht von Standardanforderungen für zuverlässiges Absperren und Regeln bis hin zu Anforderungen an hohe Temperaturbeständigkeit, Partikelemissionen und Wartungsfreiheit. VAT bietet Lösungen für alle Fragen.

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