Sub-Fab-Prozesse können eine Herausforderung sein: Korrosive, abrasive und toxische Gase, Kondensation und hohe Anteile von Nebenprodukten im Gasstrom können die Funktionalität und Zuverlässigkeit von Vakuumventilen stark beeinträchtigen. Zu den Schlüsselfunktionen von Vakuumventilen gehören: Vermeidung von Rückflusskontamination, Volumenstromregelung und Pumpenabsperrung.
Zuverlässigkeit, Sicherheit und Verfügbarkeit sind die entscheidenden Erfolgskriterien für Vakuumventile in Sub-Fab-Systemen. Basierend auf der Erfahrung von Tausenden von Vakuumventil-Installationen in Sub-Fab-Prozessen weltweit deckt das umfassende und bewährte VAT Vakuumventilportfolio alle Sub-Fab-Anforderungen ab.
Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung dabei helfen kann, Herausforderungen bei Sub-Fab-Systemen zu bewältigen, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Baureihen.
