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Display-Trockenätzung

Typischerweise wird beim Trockenätzen ein maskiertes Muster aus Halbleitermaterial durch einen Ionenbeschuss (meist ein Plasma aus reaktiven Gasen) entfernt und geätzt, um Material von freiliegenden Oberflächen zu lösen. Dieser Prozess kann zu Kondensation und einer großen Menge an Nebenprodukten im Gasstrom führen, was die Funktionalität und Zuverlässigkeit des Vakuumventils beeinträchtigen kann.

Die Serienfertigung von „Multilayer“-Stapeln mit Trockenätzprozessen erfordert von Vakuumventilen eine optimale Dichtungstechnologie (mit Selbstreinigungsfunktion) und eine insgesamt robuste Konstruktion, ausgelegt für hohe Verfügbarkeit. VAT Vakuumventillösungen bieten hier innovative Funktionalität, um erhöhte Prozesssicherheit und verbesserte Produktivität zu gewährleisten.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung Herausforderungen in der Trockenätzung zu bewältigen hilft, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Baureihen.

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