Sowohl als Regel- wie als Isolationsventil einsetzbar sowie in der Kombination beider Funktionen. Merkmal: Präzise Regelung über große Leitwertbereiche.
Sichere Absperrung bei kontaminierenden und aggressiven Vakuum-Prozessen
Sichere Absperrung bei kontaminierenden und aggressiven Vakuum-Prozessen (Version mit erweitertem Gehäuse)
Zuverlässige Absperrung in kompakter Bauform
Schnelle, präzise Downstream-Druckregelung
Schnelle, präzise Downstream-Druckregelung und -Absperrung
Herausragende Druckregelung mit ausserordentlich niedrigem Leitwert
Kompakt und leistungsstark