Zur optimalen Absperrung und Steuerung der Vakuumbedingungen in Ionenimplantierern sind Vakuumventile notwendig, die eine präzise Steuerung erlauben und gleichzeitig ein physikalisch neutrales Verhalten im Prozess zeigen.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT-Vakuumventillösung dabei helfen kann, Herausforderungen in der Ion-Implantation zu lösen, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Baureihen.