Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung
Die Steuerung der in der Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung eingesetzten Vakuumumgebung erfordert hochpräzise Vakuumventi...
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Variabel anpassbar an jede Anforderung
Die wichtigsten Leistungsmerkmale für Inline-Ventile sind Zuverlässigkeit und Variabilität. Die 26.5 HV-Inline-Ventile bieten beides. Getestet in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen hat die Baureihe 26.5 ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit ihren vielfältigen Ausführungsoptionen bei Antrieb, Flanschanschlüssen, Gehäusewerkstoff oder Abdichtung kann nahezu jede Anforderung erfüllt werden.
Das 26.5 ist ideal zum Pumpen und Entlüften von Hochvakuumsystemen, wenn eine niedrige Ausgasungsrate entscheidend ist. Es widersteht hohem Differenzdruck und ist mit einer balggekapselten Drehdurchführung für partikelempfindliche Anwendungen ausgestattet. Die Faltenbalgkapselung verhindert außerdem Druckspitzen in jeder Ventilstellung.
Aufbauend auf einem zuverlässigen und robusten Kerndesign bietet das 26.5 HV-Inline-Ventil eine Vielzahl von Ausführungsoptionen für den Antrieb von manuell über pneumatisch bis elektromagnetisch. In Größen von DN 10 bis DN 160 mm (0.4" - 6.4") kann das 26.5 in Aluminium oder Edelstahl in verschiedenen Materialspezifikationen ausgelegt werden. Die Standardoptionen für Flanschanschlüsse sind ISO-KF und ISO-K. Ein optischer Lagemelder ist standardmäßig vorhanden, eine elektrische Anzeige kann ergänzt werden. Das 26.5 kann durch ein pneumatisches Steuerventil entweder „On-Bord“ oder bei Bedarf durch externe Montage „remote“ gesteuert werden. Das 26.5 kann je nach gewähltem Dichtungselastomer in verschiedenen Temperaturbereichen eingesetzt werden. Das Ventil kann als „Normal Geöffnet“ (NC), „Normal Geschlossen“ (NO) oder doppeltwirkend geliefert werden. Zusätzlich zu diesen Standardoptionen sind weitere kundenspezifische Anpassungen möglich.
Hauptmerkmale des 26.5 HV-Inline-Ventil
Merkmale:
- Große Anzahl von Ausführungsmöglichkeiten
- Beständigkeit gegen hohen Differenzdruck
- Langer wartungsfreier Betrieb
Vorteile:
- Herausragende Zuverlässigkeit
- Anpassbar an verschiedene Anforderungen
- Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
Größe
10 mm (⅜")
16 mm (⅝")
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
50 mm (2")
63 mm (2½")
80 mm (6")
16 mm (⅝")
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
50 mm (2")
63 mm (2½")
80 mm (6")
Antrieb
Manual/Pneumatic Actuator
Pneumatische, einfachwirkende Öffnungsfeder
Pneumatische, einfachwirkende Schließfeder
Pneumatisch, doppelwirkend
Manuell, abnehmbares Handrad
Pneumatische, einfachwirkende Schließfeder
Pneumatisch, doppelwirkend
Manuell, abnehmbares Handrad
Electromagnetic Actuator
Electromagnetic with Closing Spring (NC)
Pneumatische, einfachwirkende Schließfeder
Pneumatische, einfachwirkende Schließfeder
Gehäusematerial
Aluminium; Nichtrostender Stahl
Durchführung
Balg
Standard-Flansche
ISO-KF
ISO-K
ISO-K
Leckrate Ventilkörper
Ventilkörper
< 1 . 10-9 mbar ls-1
Ventilsitz
< 1 . 10-9 mbar ls-1
Druckbereich
Druckbereich
1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)
Manual/Pneumatic Actuator
DN 10– 50
1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)
DN 63 – 80
1 × 10-8 mbar to 2.5 bar (abs)
DN 100– 160
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)
DN 63 – 80
1 × 10-8 mbar to 2.5 bar (abs)
DN 100– 160
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
Electromagnetic Actuator
DN 10– 40
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
Differenzdruck am Teller
in Öffnungsrichtung
DN 10 – 50
≤ 5.0 bar
DN 63 – 160
≤ 1.2 bar
≤ 5.0 bar
DN 63 – 160
≤ 1.2 bar
in Schließrichtung
DN 10 – 50
≤ 5.0 bar
DN 63 – 80
≤ 4 bar
DN 100– 160
≤ 2.0 bar
≤ 5.0 bar
DN 63 – 80
≤ 4 bar
DN 100– 160
≤ 2.0 bar
Electromagnetic Actuator
DN 10– 40
≤ 5.0 bar
≤ 5.0 bar
Differential pressure at opening
≤ 1 bar
Zyklen bis zur ersten Wartung
Manueller Antrieb
DN 10 – 160
≥ 3 Million
≥ 3 Million
Pneumatischer Antrieb
DN 10 – 80
3 million (NC, NO)
3 million (NC, NO)
Electromagnetic Actuator
DN 100 – 160
1 Million
(NC, double acting)
1 Million
(NC, double acting)
Antrieb
DN 10 – 40
200 000
200 000
Temperatur
Ventilkörper
Manual/Pneumatic Actuator
≤ 150 °C
Electromagnetic Actuator
≤ 50 °C
≤ 150 °C
Electromagnetic Actuator
≤ 50 °C
Antrieb
Manual/Pneumatic Actuator
≤ 120°C
Electromagnetic
≤ 50 °C
≤ 120°C
Electromagnetic
≤ 50 °C
Solenoid Valve & Position Indicator
≤ 80 °C
DN 10 – 80
≤ 50 °C
(DN 100 – 160)
DN 10 – 80
≤ 50 °C
(DN 100 – 160)
Material
Aluminium
EN AW-6060 (3.3206)
EN-AW-6061 (3.3211)
(DN 16 – 63)
EN AW-6063 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42000
DN 80 – 160
EN-AW-6061 (3.3211)
(DN 16 – 63)
EN AW-6063 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42000
DN 80 – 160
Stainless Steel
AISI 304 (1.4301)
(DN 10 – 50)
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
(DN 63 – 160)
(DN 10 – 50)
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
(DN 63 – 160)
plate
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
Balg
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
AISI 316Ti (1.4571)
AISI 316Ti (1.4571)
Dichtung
Kopf
FKM
plate
FKM
Einbaulage
Beliebig
Steuerventil
DN 10 – 80
24 VDC, 2.5 W (others on request)
DN 100 – 160
24 VDC, 1.0 W (others on request)
24 VDC, 2.5 W (others on request)
DN 100 – 160
24 VDC, 1.0 W (others on request)
Position indicator: contact rating
Spannung
Manual/Pneumatic Actuator
≤ 50 VAC/DC
Electromagnetic Actuator
max. 48 VAC / DC
≤ 50 VAC/DC
Electromagnetic Actuator
max. 48 VAC / DC
Strom
Manual/Pneumatic Actuator
5 – 100 mA
Electromagnetic Actuator
max. 500 mA
5 – 100 mA
Electromagnetic Actuator
max. 500 mA
Mains Voltage
100 – 120 V / 200 – 240 V / 50 – 60 Hz
Betriebsfrequenz
max. 15 min-1 at 20°C
Valve position indication
Visual (mechanical)
