Reliability, safety and availability are therefore the decisive success criteria here for vacuum valves used in sub-fab processes. Based on the experience of thousands of vacuum valve installations in sub-fab processes worldwide, the comprehensive and proven VAT vacuum valve portfolio addresses all sub-fab requirements.

To find out more about how a VAT vacuum valve solution can help to address sub-fab system issues, please select from the products listed below.

Relevante Serien

HV-Schieber mit Keildesign

09.1

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Schieber mit Keildesign

Die flexible Lösung für Isolationsanwendungen mit hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom

HV-Schieber mit Schutzring

09.1

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Schieber mit Schutzring

Die sichere Lösung für Isolationsanwendungen mit sehr hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom

HV-Schieber mit Keildesign

09.2

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Schieber mit Keildesign

Der Standard für Isolationsanwendungen mit hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom

FV-Schieber

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

FV-Schieber

Der Standard für Vakuum-Absperrung

HV-Zylinderventil (Eck-Version)

25.0

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (Eck-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Zylinderventil (Inline-Version)

25.1

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (Inline-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Zylinderventil (3/2 Wege-Version)

25.2

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (3/2 Wege-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Schnellschlussventil

25.7

Vacuum to 1.2 bar (abs)

HV-Schnellschlussventil

Perfekter Rückflussschutz

Weitere Produkte

Metall-Membranbälge

Weitere Produkte

Flanschverbinder und Dichtungen