VAT Vakuumventile VAT Edge Welded Bellows VAT Bewegungskomponenten VAT Flanschverbinder und Dichtungen VAT Vakuummodule
{{ region }} English Deutsch 日本語 中文
  • Über VAT
  • Karriere
  • Downloads
  • Investor Relations
  • Unsere gesellschaftliche Verantwortung
  • Lieferanten
  • Kontakt
VAT Vakuumventile VAT Edge Welded Bellows VAT Bewegungskomponenten VAT Flanschverbinder und Dichtungen VAT Vakuummodule
  • News
  • Vakuumventile
    • Vaccum Valves Overview
    Kategorien
    • Vakuum-Regelventile
    • Vakuum-Isolationsventile
    • Vakuumschieber
    • Vakuum-Eck-/Inline-/Zylinderventile
    • Vakuum-Klappenventile
    • Vakuum-Pendelventile
    • Überdruckventile / Flutventile
    • Gasdosierventile
    • 3-Stellungs-Vakuumventile
    • Vakuum-Rückschlagventile
    • Schnellschlussventile / Beam Stopper Ventile
    • Vakuum-Ganzmetallventile
    • Vakuum-Transferventile
    • Vakuum-Transfertüren
    • Vakuum-Mehrventilbaugruppen
    Mehr über Vakuumventile
    • VAT Vakuumventil-Technologien
    • ITER Ventil-Katalog
    • Fallstudien
    • News
    VAT Vakuumventil-Technologien
  • Ausgewählte Anwendungen
    • Ausgewählte Anwendungen
    Entdecken Sie ausgewählte Anwendungen
    • Semiconductor-Produktion
      • Prozesssteuerung und Prozessisolation
      • Substrattransfer
      • Sub-Fab-Systeme
    • Solarmodul-Produktion
      • Solar-Dünnschicht-Abscheidung
      • Sub-Fab-Systeme
    • Display-Produktion
      • Display-Trockenätzung
      • Sputtern
      • Dünnschichtverkapselung
      • OLED-Aufdampfung
      • Ion-Implementation
      • CVD
      • OLED-Inkjet-Druck
      • Sub-Fab-Systeme
    • Leuchtmittelproduktion (LED, OLED)
      • Leuchtmittel-Dünnfilmbeschichtung
      • Sub-Fab-Systeme
      • Leuchtmittel-Ätzung
    • Sub-Fab-Systeme
    • Forschung
      • Weltraum-Simulation
      • Hochenergiephysik
    • Wissenschaftliche Instrumente
      • Massenspektrometrie & Gasanalyse
      • Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung
    • Dünnfilm-Beschichtung
    • Industrie
      • Vakuumöfen
      • Vakuum-Transport
      • Batterieproduktion
      • Kristallzüchtung
      • Vakuumtrocknung
    • Medizin & Pharmazie
      • Protonentherapie
      • Positron-Emissions-Tomography (PET)
      • Vakuumsterilisation
      • Pharmazeutische Gefriertrocknung
    • Ihre Anwendung
    Ihre Anwendung
  • Produkt-Services
    • Upgrades & Retrofits
    • Ersatzteile
    • Standard-Reparatur-Service
    • Fixed-Price-Refurbishment
    • VAT Service-Zentren
  • Andere Produkte
    • VAT Edge Welded Bellows
    • VAT Bewegungskomponenten
    • VAT Flanschverbinder und Dichtungen
    • VAT Vakuummodule
{{ region }} English Deutsch 日本語 中文
  • Startseite
  • Anwendungen
  • Sub-Fab-Systeme

Sub-Fab-Systeme

Sub-Fab-Prozesse können eine Herausforderung sein: Korrosive, abrasive und toxische Gase und/oder Kondensation und hohe Anteile von Nebenprodukten im Gasstrom können die Funktionalität und Zuverlässigkeit von Vakuumventilen stark beeinträchtigen. Zu den Schlüsselfunktionen von Vakuumventilen gehören die Vermeidung von Rückflusskontamination, Volumenstromregelung und Pumpenabsperrung.

Reliability, safety and availability are therefore the decisive success criteria here for vacuum valves used in sub-fab processes. Based on the experience of thousands of vacuum valve installations in sub-fab processes worldwide, the comprehensive and proven VAT vacuum valve portfolio addresses all sub-fab requirements.

To find out more about how a VAT vacuum valve solution can help to address sub-fab system issues, please select from the products listed below.

Relevante Serien

HV-Schieber mit Keildesign

09.1

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Schieber mit Keildesign

Die flexible Lösung für Isolationsanwendungen mit hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom

HV-Schieber mit Schutzring

09.1

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Schieber mit Schutzring

Die sichere Lösung für Isolationsanwendungen mit sehr hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom

HV-Schieber mit Keildesign

09.2

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Schieber mit Keildesign

Der Standard für Isolationsanwendungen mit hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom

FV-Schieber

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

FV-Schieber

Der Standard für Vakuum-Absperrung

HV-Zylinderventil (Eck-Version)

25.0

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (Eck-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Zylinderventil (Inline-Version)

25.1

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (Inline-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Zylinderventil  (3/2 Wege-Version)

25.2

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (3/2 Wege-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Schnellschlussventil

25.7

Vacuum to 1.2 bar (abs)

HV-Schnellschlussventil

Perfekter Rückflussschutz

Weitere Produkte

Metall-Membranbälge

Weitere Produkte

Flanschverbinder und Dichtungen

{{ region }} English Deutsch 日本語 中文
Nach oben
Vakuumventile
  • Vaccum Valves Overview
  • Vakuumschieber
  • Vakuum Eck-/Inline-/Zylinderventile
  • Vakuum-Ganzmetallventile
  • Vakuum-Pendelventile
  • Vakuum-Klappenventile
  • 3-Stellungsventile
  • Vakuum-Regelventile
  • Vakuum-Transferventile
  • Vakuum-Transfertüren
  • Überdruckventile / Flutventile
  • Gasdosierventile
  • Schnellschlussventile / Beam Stopper Ventile
  • Vakuum-Multi-Ventil-Module
Mehr über Vakuumventile
  • Vakuumventil-Technologien
  • Fallstudien
Ausgewählte Anwendungen
  • Ausgewählte Anwendungen
  • Semiconductor-Produktion
  • Solarmodul-Produktion
  • Display-Produktion
  • Leuchtmittelproduktion (LED, OLED)
  • Sub-Fab-Systeme
  • Forschung
  • Wissenschaftliche Instrumente
  • Dünnfilm-Beschichtung
  • Industrie
  • Medizin & Pharmazie
  • Ihre Anwendung
Produkt-Services
  • Upgrades & Retrofits
  • Ersatzteile
  • Standard-Reparatur-Service
  • Fixed-Price-Refurbishment
Unternehmen
  • About VAT
  • Investors Relations
  • Careers
  • News
  • Kontakt
  • Allgemeine Verkaufs- und Lieferbedingungen
Kunden-Service
  • Downloads

© 2022 VAT Group AG | Switzerland

  • Imprint
  • Privacy Policy
  • Terms & Conditions
  • Supplier login
This browser is no longer supported even by Microsoft. To prevent security issues, we recommend to use modern browsers like Chrome, Firefox or Edge.