Zuverlässigkeit, Sicherheit und Verfügbarkeit sind die entscheidenden Erfolgskriterien für Vakuumventile in Sub-Fab-Systemen. Basierend auf der Erfahrung von Tausenden von Vakuumventil-Installationen in Sub-Fab-Prozessen weltweit deckt das umfassende und bewährte VAT Vakuumventil-Portfolio alle Sub-Fab-Anforderungen ab.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung dabei helfen kann, Herausforderungen bei Sub-Fab-Systemen zu lösen, wählen Sie bitte unten Ihre spezifische Anwendung aus.

Relevante Serien

HV-Schieber mit Keildesign

09.1

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Schieber mit Keildesign

Die flexible Lösung für Isolationsanwendungen mit hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom

HV-Schieber mit Schutzring

09.1

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Schieber mit Schutzring

Die sichere Lösung für Isolationsanwendungen mit sehr hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom

HV-Schieber mit Keildesign

09.2

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Schieber mit Keildesign

Der Standard für Isolationsanwendungen mit hohem Nebenproduktanteil im Gasstrom

FV-Schieber

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

FV-Schieber

Der Standard für Vakuum-Absperrung

HV-Zylinderventil (Eck-Version)

25.0

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (Eck-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Zylinderventil (Inline-Version)

25.1

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (Inline-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Zylinderventil (3/2 Wege-Version)

25.2

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (3/2 Wege-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Schnellschlussventil

25.7

Vacuum to 1.2 bar (abs)

HV-Schnellschlussventil

Perfekter Rückflussschutz

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Metall-Membranbälge

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Flanschverbinder und Dichtungen