Der Ursprung ist eine Idee, eine Vision oder ein bestehendes Projekt. Wir definieren ein Modul als eine Baugruppe von Vakuumventilen und anderen Vakuumkomponenten in einem kundenspezifischen Gehäuse. Jedes Modul, das wir erstellen, ist auf spezifische Anforderungen zugeschnitten. Je nach Wunsch und Losgröße entwickeln neben dem Modul auch ein dezidiertes Wartungs- und Ersatzteilkonzept. Damit sichern wir die volle Funktionsfähigkeit der Module über den definierten Lebenszyklus.

Der Vorteil

Als komplette Baugruppe aus einer Hand, ist sichergestellt das alle Komponenten in optimaler Weise zusammenwirken. Leistungsparameter können in vereinfachter Weise für das Gesamtsystem definiert werden und nicht für jede Komponente einzeln.

Jedes VAT Modul vereinfacht und beschleunigt den Aufbau eines Gesamtsystems, da es als montagefertige Einheit geliefert wird. Mit nur einer Artikelnummer reduziert es ferner die Komplexität der Lieferkette, verkleinert die Teileliste und damit den Logistikaufwand für die Bereithaltung der Teile. Damit vereinfacht sich bei Modulserien der Beschaffungsprozess und ermöglicht ein Ship-to-Line.

Vorteile, die signifikante Kostenersparnisse bei hoher Fertigungsqualität erlauben.

High Purity als Standard

Durch die ausgewiesene Expertise von VAT für Vakuumkomponentenlösungen in Ultra-Clean-Vakuum-Anwendungen sind alle Fertigungsschritte von der maschinellen Bearbeitung über die Montage, Testung bis zur Verpackung unter hohen bis höchsten Reinheitsstandards organisiert. ISO-Klasse 6 ist hier bei der Standard, wobei in Teilschritten auch höheren Anforderungen entsprochen werden kann. Alle Fertigungsprozesse einschließlich aller Reinigungsprozesse werden dokumentiert und streng überwacht. VAT ist in der Lage durch eine In-Situ-Überwachung von Partikeln die Reinheit einzelner Bauteile in der Fertigung zu überwachen.

Höhere Integration – Kompaktere Baumasse

Mit der Konstruktion und Fertigung aus einer Hand bieten VAT Module den Vorteil, dass sie ein höheres Maß an Integration erlauben als konventionell aus Einzelkomponenten gefertigte Module. So können Ventilfunktion z.B. direkt ins Modulgehäuse integriert werden statt angeflanscht zu werden. Dies führt in der Regel zu wesentlich kompakteren Baumassen bei gleichen oder sogar besseren Leistungsparametern. Ferner reduziert ein hohes Maß an Integration die Anzahl der Teile sowie den Materialeinsatz.

Die kompaktere Bauweise ermöglicht auch eine Optimierung des Innenvolumens und der medienberührten Oberfläche. Unnötige Schnittstellen werden eliminiert und die Gesamtlänge der Dichtungen wird verkürzt, was die Permeation reduziert. Dies führt zu einem geringeren Prozessgasbedarf, was wiederum zu kürzeren Zeiten für das Evakuieren und Entlüften führt. Dies kann ins gesamt zu einem höheren Produktionsdurchsatz, bei niedrigerem Basisdruck und damit zu einer höheren Kosteneffizienz z.B. durch den Einsatz kleinerer Vakuumpumpen führen.

Von Erfahrung profitieren

VAT Module sind weltweit in unterschiedlichsten Vakuumprozessen im Einsatz. Die Erfahrung aus einer installierten Basis von mehr als 10.000 Modulen kommt dabei jedem Projekt zugute, das wir für unsere Kunden umsetzen. Sprechen Sie uns an, um mehr über VAT Module zu erfahren.

Beispiele aus unseren Modul-Projekten:

Einzel-/Doppelschlitz-Load-Lock-Kammern

Load-Lock-Kammern sind stets auf spezifische Leistungsmerkmale optimiert. Schlitzgrößen reichen dabei von Reticles über Wafer bis hin zu großen Display-Substraten.


Wafer-Transferkammern

Transferkammern sind so konzipiert, dass sie optimal mit Substrat-Transportgeräten und angedockten Prozessmodulen korrespondieren. Transfer- und Absperrventile sowie andere Vakuumkomponenten sind vollständig integriert.


Pump-Verteil-Module

Verteil-Module zum Evakuieren, zur Gasversorgung und zur Dichtheitsprüfung sind so konzipiert, dass sie den Platzbedarf, die Zahl der Dichtungen sowie das interne Volumen minimieren. Regelventile, Absperrventile, Eckventile und weitere Vakuumkomponenten sind dabei zu einer Baugruppe zusammengefasst.