Der Ursprung ist eine Idee, eine Vision oder ein bestehendes Projekt. Wir definieren ein Modul als eine Baugruppe von Vakuumventilen und anderen Vakuumkomponenten in einem kundenspezifischen Gehäuse. Jedes Modul, das wir erstellen, ist auf spezifische Anforderungen zugeschnitten. Je nach Wunsch und Losgröße entwickeln wir neben dem Modul auch ein dezidiertes Wartungs- und Ersatzteilkonzept. Damit sichern wir die volle Funktionsfähigkeit der Module über den definierten Lebenszyklus.

Der Vorteil

Mit einer kompletten Baugruppe aus einer Hand ist sichergestellt, dass alle Komponenten optimal zusammenwirken. Leistungsparameter können für das Gesamtsystem definiert werden, anstatt die Parameter für jede Komponente einzeln festzulegen.

Jedes VAT Modul erleichtert und beschleunigt den Aufbau eines Gesamtsystems, da es als montagefertige Einheit geliefert wird. Mit nur einer Artikelnummer reduziert es ferner die Komplexität der Lieferkette, verkleinert die Teileliste und damit den Logistikaufwand für die Bereithaltung der Teile. Damit vereinfacht sich bei Modulserien der Beschaffungsprozess und ein Ship-to-Line wird ermöglicht.

Dies sind Vorteile, die signifikante Kostenersparnisse bei hoher Fertigungsqualität generieren.

High Purity als Standard

Durch die ausgewiesene Expertise von VAT für Vakuumkomponentenlösungen in Ultra-Clean-Vakuum-Anwendungen sind alle Fertigungsschritte von der maschinellen Bearbeitung über die Montage, Testung bis zur Verpackung unter hohen bis höchsten Reinheitsstandards organisiert. ISO-Klasse 6 ist hier bei der Standard, wobei in Teilschritten auch höheren Anforderungen entsprochen werden kann. Alle Fertigungsprozesse einschließlich der Reinigungsprozesse werden dokumentiert und streng überwacht. VAT ist in der Lage, durch eine In-situ-Überwachung von Partikeln die Reinheit einzelner Bauteile in der Fertigung zu kontrollieren.

Höhere Integration – kompaktere Baumasse

Mit der Konstruktion und Fertigung aus einer Hand bieten VAT Module den Vorteil, dass sie ein höheres Maß an Integration erlauben als konventionell aus Einzelkomponenten gefertigte Module. So lassen sich Ventilfunktionen z. B. direkt ins Modulgehäuse integrieren, statt angeflanscht zu werden. Dies führt in der Regel zu wesentlich kompakteren Baumassen bei gleichen oder sogar besseren Leistungsparametern. Ferner reduziert ein hohes Maß an Integration die Anzahl der Teile sowie den Materialeinsatz.

Die kompaktere Bauweise ermöglicht auch eine Optimierung des Innenvolumens und der medienberührten Oberfläche. Unnötige Schnittstellen werden eliminiert und die Gesamtlänge der Dichtungen wird verkürzt, was die Permeation reduziert. Dies führt zu einem geringeren Prozessgasbedarf, was wiederum die Zeiten für das Evakuieren und Entlüften verkürzt. Insgesamt kann das in einem höheren Produktionsdurchsatz bei niedrigerem Basisdruck münden und damit eine höhere Kosteneffizienz nach sich ziehen, z. B. durch den Einsatz kleinerer Vakuumpumpen.

Von Erfahrung profitieren

VAT Module sind weltweit in unterschiedlichsten Vakuumprozessen im Einsatz. Die Erfahrung aus einer installierten Basis von mehr als 10.000 Modulen kommt dabei jedem Projekt zugute, das wir für unsere Kunden umsetzen. Sprechen Sie uns an, um mehr über VAT Module zu erfahren.

VAT Vakuummodule

Komponenten

VAT Load-Lock Module (LL)
VAT Transfer Module (TM)
VAT Adjacent Components (AC) z.B.:
VAT Wafer-Lift-Systeme (7)
VAT Metall-Membranbälge