Zuverlässig unter allen Bedingungen

Das 06.3 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT wurde entwickelt, für die besonderen Anforderungen von Display-Produktionssystemen mit einer hohen Taktrate. Es basiert auf dem Konzept der Baureihe 06.1, kombiniert wie das 06.1 eine herausragend schnelle Öffnungs- und Schließbewegung (≤ 2 s bei 150 mm Öffnungshöhe) mit hoher Widerstandsfähigkeit gegen prozessbedingte Ablagerungen, die die Leistung von Standardventilen einschränken würden. Ausgestattet mit größeren Druckelementen kann das 06.3 dem vollen Differenzdruck am Ventilteller in Öffnungsrichtung widerstehen. Es ist damit besonders für OLED, PVD und Load-Lock-Anwendungen geeignet.

Das 06.3 ist in der "Ultra Clean"-Konfiguration für OLED und mit einer Hochgeschwindigkeitsoption für PVD- und Load-Lock-Anwendungen erhältlich.

Das 06.3 ist für hohe Verfügbarkeit und zuverlässigen Betrieb über eine Lebensdauer von mindestens einer Million Zyklen ausgelegt.

Die für das 06.3 verwendete TWINVAT-Technologie basiert auf einem modularen Plattformkonzept. Sie ermöglicht eine stoßfreie Öffnungs- und Schließbewegung. Der leichtgängige, doppeltwirkende TWINVAT-Mechanismus sorgt für einen gleichmäßigen Dichtungsdruck über die gesamte Dichtungsfläche und minimiert so den Verschleiß der Dichtung und eine potentielle Partikelfreisetzung. Dies reduziert in relevantem Maß auch die Gesamtkosten für FFKM-Dichtungen über die Lebensdauer des Ventils.

Die Baureihe 06.3 ist als Transferventil mit Gehäuse oder als Insert-Version zum direkten Einbau in die Prozesskammer erhältlich.

06.3 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

06.3 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT -Geschlossen
Geschlossen
06.3 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT - Optisch geschlossen
Optisch geschlossen
06.3 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT - Offen
Offen

Das 06.3 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT wird wie alle VAT-Transferventillösungen exakt auf die Kundenspezifikation zugeschnitten. Diese Anpassungen können eine zusätzliche Prozesssteuerungseinheit, spezielle Oberflächenbehandlungen wie harteloxiertes oder vernickeltes Aluminium, andere Dichtungsmaterialien, Vakuummessgeräte zur Erfassung des Drucks im Ventilgehäuse, faltenbalggeschützte Wellendurchführung, HF- & DC-Erdungsoptionen für Ventil und Teller, seitliche Einbaulage der Antriebe und vieles mehr umfassen.


Hauptmerkmale 06.3 Groß- Transverventil /-Insert mit TWINVAT

Merkmale:

  • Schockfreie Bewegung des Schließtellers
  • Spezielle Ventilservicefunktion für Tellerdichtungswechsel
  • Gleichmäßiger Druck auf die Tellerdichtung

Vorteile:

  • Geringe Partikel
  • Geringe Stillstandszeiten für Wartung
  • Schnelle Zykluszeiten
  • Hohe Verfügbarkeit
Technische Daten
Grössen   100 x 1000 mm to 300 x 3800 mm (3.94" x 39.37" to 11.81" x 149.60")
Antrieb Pneumatisch Doppeltwirkend mit Lagemelder
Gehäusewerkstoff   Aluminium
Durchführung   Schiebedurchführung
Dichheit Ventilgehäuse < 1 × 10-7 mbar ls-1
  Ventilsitz < 1 × 10-7 mbar ls-1
Differenzdruck Am Teller Ventil: nur in Schliessrichtung ≤ 1 bar
    Insert: nur in Öffnungsrichtung ≤ 30 mbar
  Beim Öffnen ≤ 5 mbar
Zyklen bis zur ersten Wartung   1 Million
Schliess- oder Öffnungszeit   < 2.5 s (bei 150 mm Öffnungshöhe)
Temperatur Ventilgehäuse, Teller ≤ 120 °C
  Antrieb ≤ 60 °C
  Steuereinheit ≤ 50 °C
Werkstoff Ventilgehäuse, Teller EN AW-6082 (3.2315) or EN AW-5083 (3.3547)
  Antriebsstangen AISI 316 (1.4401)
  Balg am Druckelement AISI 633 (AM 350)
Dichtung Teller, Flansche, Durchführung, Antrieb FKM (Viton®)
Pumpe / Entlüftungsanschluss   ISO-KF 40
Einbaulage   Antrieb oben oder unten
Lagemelder Spannung 24 V DC PNP (NPN optional)

 

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