Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung
Die Steuerung der in der Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung eingesetzten Vakuumumgebung erfordert hochpräzise Vakuumventi...
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21.1 Gasdosierventil
Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern
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Für die zuverlässige Grob- und Feindosierung von Gasen
Die wichtigsten Leistungsmerkmale für ein modernes Gasdosierventil sind seine Regelbarkeit und seine Fähigkeit, Durchflusseinstellungen zuverlässig und präzise zu reproduzieren. Das 21.1 Gasdosierventil bietet beides.
Erhältlich in zwei Ausführungen - eine für die Grobgasdosierung (DN 10mm, ½") und eine für die Feingasdosierung (DN 16mm, 5/8") – ermöglicht die Baureihe 21.1 durch die separate Schließ- und Dosiernadelkalibrierfunktion ein Schließen ohne Verlust der definierten Durchflusseinstellung. Mit dem Nadelkalibrierungshandrad kann die Nadelposition und die Durchflusseinstellung auf einer sehr feinen Skala auf die gewünschte Einstellung abgestimmt werden. Diese Einstellung wird während des Öffnens und Schließens des Ventils beibehalten, da der Öffnungs-/Schließmechanismus unabhängig vom Dosiermechanismus arbeitet.
Getestet in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen hat die Baureihe 21.1 ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen.
Das 21.1 Gasdosierventil ist in Ausführungen für Grobgasdosierung (DN 10mm, ½") und Feingasdosierung (DN 16mm, 5/8") mit manueller Handradbetätigung erhältlich. Das Gehäuse des Grobgasdosierventils ist aus Aluminium und das Gehäuse des Feingasdosierventils aus Edelstahl gefertigt. Beide haben ISO-KF-Flansche. Für das Feingasdosierventil ist ein zusätzlicher Filter (Vakuumseite) erhältlich.
Vorteile des 21.1 Gasdosierventil
Merkmale:
- Großer Durchflussregelbereich
- Integriertes Absperrventil
- Kann ohne Verlust der Durchflusseinstellung geschlossen werden
Vorteile:
- Ausgezeichnete Zuverlässigkeit und Lebensdauer
- Hervorragende Kontrollierbarkeit
- Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
| Grobgas-Dosierventil | Feingas-Dosierventil | ||
|---|---|---|---|
| Dichtheit | Ventilgehäuse, Ventilsitz | 1× 10-8 mbar ls-1 | 1× 10-9 mbar ls-1 |
| Druckbereich | 1 × 10-7 mbar to 4 bar (abs) | 1 × 10-7 mbar to 2.5 bar (abs) | |
| Gasfluss, Steuerbar | min. 40 mbar l/s max. 1700 mbar l/s | min. 5 × 10-6 mbar l/s max. 1000 mbar l/s | |
| Totes Volmen | - | 0.032 cm3 | |
| Temperatur | Ausheizen ≤ 100 °C | Betrieb ≤ 80 °C Ausheizen ≤ 100 °C |
|
| Werkstoff | Ventilgehäuse | EN AW-6082 T6 | AISI 304 (1.4301) |
| Antrieb | Kunststoff (POM) | Kunststoff (POM) | |
| Dosierhülse | - | Fluoropolymer | |
| Dichtung | FKM (Viton®) | FKM (Viton®) | |
| Einbaulage | Beliebig | Beliebig | |
| Gewicht | 0.2 kg/0.44 lbs | 0.4 kg/0.88 lbs |
