Vakuumöfen
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62.7 Gasdosierventil
Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern
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Reproduzierbare Präzision über außerordentlich große Druckbereiche
Die Hauptanforderungen an ein modernes, automatisiertes Gasdosierventil sind der Grad seiner Regelbarkeit sowie die Fähigkeit, einer vordefinierten Durchflusseinstellung zuverlässig und präzise zu folgen. Die 62.7 Gasdosierventil-Baureihe vereinigt beides.
Die Baureihe 62.7 ist in zwei verschiedenen Ausführungsvarianten erhältlich: Eine elektromagnetisch angetriebene Version in DN 5 mm (3/16") und eine schrittmotorangetriebene Version in DN 16 mm (5/8"). Beide Versionen sind in der Lage, den Druck in einem Bereich von < 1 - 10-8 mbar ls-1 bis 2 bar (DN 5) und 2.5 bar (DN 16) auf jedem Niveau sehr fein zu regeln. Das bedeutet, dass die Durchflusscharakteristik von der anfänglichen Öffnung bis zum vollen Leitwert bei jedem Druckniveau vollständig geregelt werden kann. Das bedeutet nicht nur, dass das 62.7 in seinem Betriebsbereich herausragend ist und nur eine Ventillösung bietet, wo normalerweise mehrere verschiedene Ventile erforderlich wären, das 62.7 bietet auch eine noch nie dagewesene Regelbarkeit.
Das spezielle Absperr- und Regelsystem des 62.7, eine Kombination aus einem Nadel- und Tellermechanismus für DN 16 und einem Blenden- und Tellermechanismus für DN 5, ermöglicht ein sehr sanftes Öffnungsverhalten, das selbst bei sehr niedrigen Leitwerten keine Druckänderungsspitzen aufweist.
Eine Durchflusskennlinie kann wahlweise über eine feste Einstellung definiert werden oder kann dynamisch gehandhabt werden, d. h. über den Controller des 62.7, wenn dieser mit einem Drucksensor im Prozess verbunden wird.
Getestet in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen hat das 62.7 seine herausragende Leistung bewiesen.
DN 5
DN 16
Das 62.7 Gasdosierventil ist in Edelstahl mit kundenspezifischen Flanschen für DN 5 und ISO-KF für DN 16 erhältlich. Durchflusskennlinien können direkt am externen Controller des 62.7 per PC-Anschluss oder über den Anschluss an eine PCU definiert werden.
Hauptmerkmale des 62.7 Gasdosierventil
Merkmale:
- Herausragend breiter Durchflussregelbereich
- Herausragende Regelbarkeit bei sehr kleinem Leitwert
- Integrierte Netzausfall-Abschaltfunktion
Vorteile:
- Bessere Prozesssteuerung
- Eine Ventillösung für verschiedene Druckregime
- Ausgezeichnete Zuverlässigkeit und Lebensdauer
- Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
| DN 5 mm (3/16") | DN 16 mm (⅝") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Elektromagnetisch | Schrittmotor | |
| Gehäusewerkstoff | Nichtrostender Stahl | Nichtrostender Stahl | |
| Durchführung | Schiebedurchführung | Schiebedurchführung | |
| Standard Flansche | Specific | ISO-KF | |
| Dichheit | Ventilgehäuse, Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| Druckbereich | < 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs) | < 1 × 10-8 mbar to 2.5 bar (abs) | |
| Differenzdruck am Teller | ≤ 1.0 bar | ≤ 1.1 bar | |
| Temperatur | Ventilgehäuse, Teller Umgebung |
– 5 °C– 50°C |
≤ 150°C 5 °C–40°C |
| Werkstoff | Ventilgehäuse Teller |
AISI 316L (1.4404 oder 1.4435) AISI 430IL (1.4105IL) |
AISI 316L (1.4404 oder 1.4435) AISI 316L (1.4404 oder 1.4435) |
| Dichtung | Teller Dosierhülse |
FPM – |
FPM Fluorpolymer |
| Einbaulage | Beliebig | Beliebig | |
| Regelbarer Leitwert | Minimum/Maximum | 1.69 / 84.44 mbar ls-1 | 5 × 10-6 /1250 mbar ls-1 |
| Betriebszeit | Öffnen / Schliessen | < 30 ms / < 30 ms | 3 s / 4 s |
| Stromversorgung | 24 VDC / 12 VA | 24 VDC / 12 VA | |
| Steuerung | Digital mit Controller Analog 0…10VDC (max. 100 mA) |
Digital mit Controller Analog 0…10VDC (max. 100 mA) |
|
| Gewicht | 0.096 kg / 0.2 lbs | 0.8 kg / 1.8 lbs |
