Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung
Die Steuerung der in der Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung eingesetzten Vakuumumgebung erfordert hochpräzise Vakuumventi...
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Präzise manuelle/automatische Belüftung mit „Failsafe“-Schutz
Die Hauptanforderung an ein modernes Belüftungsventil ist ein zuverlässiger, präziser und schnell wirkender Belüftungsmechanismus. Wichtig ist auch ein gewisses Maß an Modularität, das Konfigurationen für verschiedene Prozess- und Installationsbedingungen ermöglicht.
Das 21.3 Flutventil ist so ausgelegt, dass es nahezu alle Belüftungsanforderungen von Vakuumsystemen abdeckt. Konzipiert für einen zuverlässigen, langen wartungsfreien Betrieb, ist die Baureihe sowohl mit manuellem als auch mit automatischem Antrieb erhältlich.
Die elektromagnetisch angetriebene Automatikversion zeichnet sich besonders durch ihre besondere Konstruktion aus. Der Wegfall jeglicher Durchführung und der vollständig gekapselte Betrieb mit dem Aktor als Schließvorrichtung ermöglicht eine herausragend schnelle Funktion ohne die Serviceanforderungen normaler Ventile mit Dreh- oder Schiebedurchführung. Außerdem werden Leckagerisiken eliminiert.
Die automatische Version bietet außerdem einen „Failsafe“-Mechanismus, der im Falle eines Stromausfalls reagiert. Der Ausfallsicherungs-Mechanismus ist in „Geschlossen“- oder „Offen“-konfigurationen (NC- oder NO-Version) erhältlich, um sowohl Prozess- als auch Installationsanforderungen zu erfüllen.
Der Betriebsdruckbereich des 21.3 liegt zwischen 1 ₓ 10-8 mbar und 1,2 bar (abs) mit einem Gasfluss von 50 l in 14 Sek. (manuell), 100 l in 30 Sek. (NC-Version) und 50 l in 270 Sek. (NO-Version).
Installiert in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen, hat das 21.3 seine herausragende Zuverlässigkeit bewiesen.
Manuell
Elektromagnetisch: einfachwirkend federschliessend (NC)
Electromagnetisch:
einfachwirkend federschöffnend (NO)
Das 21.3 Flutventil ist in DN 10mm (3/8") erhältlich. Der Ventilkörper ist aus Aluminium gefertigt. Die manuelle Version ist auch in Edelstahl erhältlich. Der Standardflansch ist ISO-KF. Der elektromagnetische Antrieb wird mit 200-240 VAC 50/60 Hz, 100-115 VAC 50/60 Hz, 24 VAC 50/60 Hz oder 24 VDC betrieben.
Hauptmerkmale des 21.3 Flutventil
Merkmale:
- Schnell schließend
- „Failsafe“-Schutz in Auf- oder Zu-Stellung
Vorteile:
- Erweiterter servicefreier Betrieb
- Modularität
- Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
| Manuell | Elektromagnetisch mit Schliessfeder (NC) |
Elektromagnetisch mit Öffnungsfeder (NO) |
||
|---|---|---|---|---|
| Grössen | DN 10 mm (⅜") | DN 10 mm (⅜") | DN 10 mm (⅜") | |
| Antrieb | Manuell | Elektromagnetisch mit Schliessfeder (NC) | Elektromagnetisch mit Öffnungsfeder (NO) | |
| Gehäusewerkstoff | Aluminium und Nichtrostender Stahl | Aluminium | Aluminium | |
| Standard Flansche | ISO-KF | ISO-KF | ISO-KF | |
| Dichheit | Ventilgehäuse, Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 |
| Druckbereich | 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs) | 1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs) | 1 × 10-8 mbar to 10 bar (abs) | |
| Differenzdruck am Teller | In Schliessrichtung In Öffnungsrichtung |
– – |
10 mbar 1 mbar |
– – |
| Differenzdruck beim Öffnen | In Schliessrichtung In Öffnungsrichtung |
– – |
2 mbar 1 mbar |
– – |
| Zyklen bis zur ersten Wartung | – | 1.5 Millionen | 3 Millionen | |
| Temperatur | Aluminiumgehäuse Nichtrostender Stahl Gehäuse |
0– 80 °C 0– 120 °C |
5 –40 °C – |
5 – 50 °C – |
| Werkstoff | Aluminium Ventilgehäuse | EN AW-6023 (3.0306) | EN AW-6082 (3.2315) | EN AW-6026 |
| Nichtrostender Stahl Ventilgehäuse | AISI 303 (1.4305) | – | – | |
| Teller: Aluminium Nichtrostender Stahl |
EN AW-6023 (3.0306) AISI 304 (1.4301) |
– | – | |
| Dichtung | FKM (Viton®) | FKM (Viton®) | FKM (Viton®) | |
| Durchführung | Keine | Keine | Keine | |
| Einbaulage | Beliebig | Beliebig | Beliebig | |
| Spannungsversorgung | – | 200– 240 VAC, 50/60 Hz 100– 115 VAC, 50/60 Hz 24 VAC, 50/60 Hz 24 VDC |
200– 240 VAC, 50/60 Hz 100– 115 VAC, 50/60 Hz 24 VDC |
|
| Entlüftungszeit | 50 l in 14 sec. | 100 l in 30 sec. | 50 l in 270 sec. | |
| Gewicht | Aluminium Ventil Nichtrostender Stahl Ventil |
0.1 kg/0.22 lbs 0.15 kg/0.33 lbs |
0.46 kg/1.01 lbs – |
0.1 kg/0.22 lbs – |
