VAT真空遮断弁のソリューション。様々な空圧および電気作動のバルブシリーズと技術の概要。
過酷な使用に耐える多用途バルブ
汎用型遮断バルブ
設置スペースが限られている用途に(DN 63~100)
設置スペースが限られている用途に(DN 50)
ガスの流れに副生成物が多く含まれる場合の隔離用途
UHV隔離の標準バルブ
高真空防止の標準バルブ
真空防止の標準バルブ
標準的な高サイクル真空隔離用
並外れた低衝撃・低パーティクル性能
エバポレーターやスパッタリング用途でのポンプアイソレーションに最適
大容量の真空流や過酷な条件に対応するコンパクトなデザイン
過酷な環境でも高い信頼性
大口径が必要な現場の標準
汚染された腐食性の高い真空プロセスでも信頼性の高い隔離
コンパクトなデザインで信頼性の高い真空封止
大容量フローでも妥協のない信頼性
過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス
逆流を完璧に防止
高真空システムのポンピングと排気用
妥協のない信頼性
圧倒的な低アウトガス性能
初期排気、ベント時の振動抑制(DN 25~80)
初期排気、ベント時の振動抑制
乱流や圧力振動を回避、高コンダクタンススペクトラム(DN 100~160)
ストレージリングまたはマイクロ波トランスミッションラインにおける信頼性の高い区分隔離
高温用
極限超高真空の要件にも対応
極端な温度と放射線の要件に対応