01.0 1 × 10-10 mbar～2 bar (abs)

ミニ UHV ゲートバルブ

過酷な使用に耐える多用途バルブ

01.2 1 × 10-7 mbar～1 bar (abs)

ミニゲートバルブ

汎用型遮断バルブ

08.1 1 × 10-7 mbar～1.6 bar (abs)

FV挿入式ゲートバルブ

設置スペースが限られている用途に（DN 63～100）

08.2 1 × 10-7 mbar～1.6 bar (abs)

FV挿入式ゲートバルブ

設置スペースが限られている用途に（DN 50）

09.1 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

副生成物を多く含むガス流の隔離に適した柔軟なソリューション

09.1 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

保護リング付き高真空ゲートバルブ

副生成物量を非常に多く含むガス流の隔離に適した保護ソリューション

09.2 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HVゲートバルブWEDGE方式

副生成物を多く含むガス流の隔離のためのスタンダード

10.8 1 × 10-10 mbar～1.2 bar (abs)

UHVゲートバルブ

UHV隔離の標準バルブ

11.1 1 × 10-8 mbar to 1.6 bar (abs)

高真空ゲートバルブ

高真空防止の標準バルブ

12.1 1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

FVゲートバルブ

真空防止の標準バルブ

14.0

高真空ゲートバルブ

標準的な高サイクル真空隔離用

15.0 1 × 10-7 mbar～1 bar (abs)

LV遮断ゲートバルブ

並外れた低衝撃・低パーティクル性能

15.1 1 × 10-8 mbar～1 bar (abs)

HV遮断ゲートバルブ

並外れた低衝撃・低パーティクル性能

15.2 1 × 10-10 mbar～1 bar (abs)

UHV遮断ゲートバルブ

並外れた低衝撃・低パーティクル性能

16.2 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

HV振子式遮断バルブ

エバポレーターやスパッタリング用途でのポンプアイソレーションに最適

16.8 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

大型HV振子式遮断バルブ

大容量の真空流や過酷な条件に対応するコンパクトなデザイン

17.2 1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

保護リング付き高真空ゲートバルブ

過酷な環境でも高い信頼性

19.0 1 × 10-7 mbar～1 bar (abs)

FV大型ゲートバルブ

大口径が必要な現場の標準

19.1 1 × 10-8 mbar～1 bar (abs)

HV大型ゲートバルブ

大口径が必要な現場の標準

19.2 1 × 10-10 mbar～1 bar (abs)

UHV大型ゲートバルブ

大口径が必要な現場の標準

20.3 1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

VATTERFLYバルブ

汚染された腐食性の高い真空プロセスでも信頼性の高い隔離

20.4 1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

VATTERFLYバルブ

汚染された腐食性の高い真空プロセスでも信頼性の高い隔離

21.0 1 × 10-8 mbar～1.3 bar (abs)

FVバタフライバルブ

コンパクトなデザインで信頼性の高い真空封止

24.4 1 × 10-7 mbar～5 bar (abs)

FVアングルバルブ

大容量フローでも妥協のない信頼性

24.5 1 × 10-7 mbar～5 bar (abs)

FVインラインバルブ

大容量フローでも妥協のない信頼性

25.0 1 × 10-8 mbar～3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ（アングルバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

25.1 1 × 10-8 mbar～3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ（インラインバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

25.2 1 × 10-8 mbar～3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ (3/2wayバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

25.7 真空～1.2 bar (abs)

高真空クイックシャットオフバルブ

逆流を完璧に防止

26.4 DN 10– 40

高真空アングルバルブ

妥協のない柔軟性と信頼性

26.5 DN 10– 40

高真空管内バルブ

妥協のない信頼性

28.4 5 × 10-10 mbar～5 bar (abs)

UHVアングルバルブ

圧倒的な低アウトガス性能

29.0 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

ソフト排気用HVアングルバルブ

初期排気、ベント時の振動抑制（DN 25～80）

29.1 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

ソフト排気用HVインラインバルブ

初期排気、ベント時の振動抑制

29.2 1 × 10-7 mbar～2 bar (abs)

ソフト排気用HVアングルバルブ

乱流や圧力振動を回避、高コンダクタンススペクトラム（DN 100～160）

47.1 極高真空～2 bar (abs)

極高真空 RFオールメタルゲートバルブ

ストレージリングまたはマイクロ波トランスミッションラインにおける信頼性の高い区分隔離

47.2 極高真空～2 bar (abs)

極高真空 RFオールメタルゲートバルブ

ストレージリングまたはマイクロ波トランスミッションラインにおける信頼性の高い区分隔離

48.1 極高真空～2 bar (abs)

極高真空オールメタルゲー トバルブ

高温用

48.2 極高真空～2 bar (abs)

極高真空オールメタルゲー トバルブ

高温用

54.1 極高真空～2 bar (abs)

超高真空/極高真空オールメタルアングルバルブ - 簡単締付け

極限超高真空の要件にも対応

57.0 極高真空～5 bar (abs)

極高真空オールメタルアングルバルブ

極端な温度と放射線の要件に対応

57.1 極高真空～5 bar (abs)

極高真空オールメタルアングルバルブ

極端な温度と放射線の要件に対応