5 × 10^-10 mbar～5 bar (abs)

28.4 UHVアングルバルブ

圧倒的な低アウトガス性能

製品の指定

超高真空用途で妥協のない性能を発揮

超高真空用途におけるアングルバルブの主な要求は、信頼性の高い性能、パーティクル発生量と再浮遊の量、そしてアウトガス量です。UHVアングルバルブSERIES 28.4はこの分野の基準を打ち立てる製品です。このシリーズは、パーティクルの発生と再浮遊、およびアウトガスを最小限に抑えるように設計されています。

固定された回転式CFフランジとボンネットメタルシールを備えたこのシリーズのバルブは、手動式では200 °Cまで、圧空作動式では150 °Cまでの耐熱温度に適しています。

28.4は、真空システムのポンプと排気に最適です。また、大きな差圧に対応可能です。プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 28.4は厳しい環境での使用にも耐え、超高真空用途においてその抜群の信頼性を証明してきました。

信頼性の高い堅牢なコア構造を採用するUHVアングルバルブSERIES 28.4は、手動式または圧空作動式による作動が可能で、サイズはDN 16 mm～63 mm（5/8”～2½”）です。

接続用フランジはCF-Rが標準ですが、お客様指定のフランジにも対応いたします。SERIES 28.4はメタルボンネットシールとプレート部のFKMシールで密閉されていますが、プレートシールについては、それ以外の素材の使用もご要望にお応えします。フィードスルーのシールにはベローズを採用しています。

ビジュアルポジションインジケーターに加えて、電気インジケーターも標準装備されています。バルブを制御する電磁弁は、本体に直接搭載または必要に応じて離して搭載することが可能です。

これらの標準的なオプションに加えて、バルブはさらにカスタマイズできます。

UHVアングルバルブSERIES 28.4の主な特徴

特徴：

超高真空用途に最適
大きな差圧対応
長期のメンテナンスフリー

メリット：

抜群の信頼性
様々な要件に合わせて調整可能
低コスト

技術データ

サイズ		DN 16 (⅝")、DN 25 (1")、DN 40 (1½")、DN 63 (2½")
アクチュエータ	圧空作動式	単動シリンダースプリングによる閉動作（NC）
	手動式	取り外し可能ハンドホイールによる
ボディ素材		ステンレス鋼
フィードスルー		ベローズ
標準フランジ		CF-R
漏れ率	バルブ本体	< 5 × 10^-¹⁰ mbar ls^-¹
	バルブシート	< 1 × 10^-⁹ mbar ls^-¹
圧力範囲		5 × 10^-10mbar～5 bar (abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧	開方向	≤ 2 bar
	閉方向	≤ 5 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧		≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数		300万
許容温度	バルブ本体	≤ 150 °C
	圧空アクチュエータ	≤ 150 °C
	手動アクチュエータ	≤ 120 °C
	電磁弁	≤ 80 °C
	位置インジケーター	≤ 80 °C
材料	バルブ本体DN 16、40 DN 63	AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404、1.4435)
	プレート	AISI 316L (1.4404、1.4435)
	ベローズ	AISI 316L (1.4404、1.4435)
シール	ボンネット	金属
	ゲート	FKM (Viton®)
取り付け位置		自由
電磁弁		24 VDC (ご要望による)
位置インジケーター：接触評価	電圧	5～50 VAC/DC
	電流	5～100 mA
バルブの開閉位置表示		機械的な目視位置表示付き