精度と安定性

薄膜蒸着プロセス用のVAT真空バルブは、プロセス条件が変化しても、正確で安定した動作ができるように設計されています。主な特徴としては、低コンダクタンスレベルでも正確なガス流量制御、残留ガスや微粒子の排出量の最小化、特定のプロセス要件に合わせて必要な真空バルブを最適に構成できるモジュラーデザインなどがあります。

VATの真空バルブソリューションが、薄膜蒸着の様々な問題にどのように対応できるかについては、以下の製品からお選びください。

対象製品