あらゆる環境下で抜群の圧力制御

バタフライコントロールバルブSERIES 61.3は抜群の圧力制御性能を発揮します。0.1秒という高速で正確に動作するモーションコントローラは、CVDやALDプロセスの微細な制御に最適なソリューションです。プレートは絞りとして機能し、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。SERIES 61.3に一体化された圧力コントローラは、設定された圧力を可能な限り早く達成するために必要なプレート位置を素早く計算します。

この製品は、ガス流にパーティクルが含まれる過酷な下流プロセス専用に設計されています。SERIES 61.3は構造上、高いパーティクル負荷やデブリの蓄積があっても完全に機能します。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 61.3は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計や直接取り付けのオプションだけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、SERIES 61.3はあらゆる面で納得のいく製品です。

本体の材質はもちろん、表面処理やエラストマー、フランジ接続、特殊なサイズ、特殊な制御アルゴリズム(適応型制御、fix PID/ソフト排気制御)など、様々な設計オプションが用意されており、様々な真空システムへ簡単に組み込むことができます。


バタフライコントロールバルブSERIES 61.3はアルミニウムとステンレス鋼から選択でき、接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Fです。また、お客様指定のフランジにも対応可能で、断熱材入りのヒータのような特殊な機能もご用意しております。ご要望に応じて様々なFFKM/FKMエラストマーもご用意しております(標準はFKM Viton®)。


バタフライコントロールバルブSERIES 61.3の主な特徴

特徴:

  • 優れた圧力制御
  • 非常に高速な動作
  • ローカル操作用のオンボードソフトウェア
  • 過酷なプロセス条件でも信頼性の高いオペレーション

メリット:

  • プロセスの制御性が向上
  • 高い稼働率/制約を受けないパフォーマンス
  • 低い運用コスト
技術データ
サイズ   DN 25 (1")、DN 40 (1½")、DN 50 (2")、
DN 63 (2½")、DN 80 (3")、DN 100 (4")、
DN 160 (6")、DN 200 (8")、DN 250 (10")、
DN 320 (12")
アクチュエータ   ステッピングモーター搭載一体型コントローラ
  超高速バージョン < 0.1 s(DNとプレートの材質による)
ボディ素材   アルミニウムまたはステンレス鋼
標準フランジ   ISO-KF、ISO-F
漏れ率(バルブ本体) アルミニウム < 1 × 10-9 mbar ls-1
  ステンレス鋼 < 1 × 10-9 mbar ls-1
圧力範囲   1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
第1回サービスまでのサイクル数 1) 圧力制御 200万
許容温度 バルブ本体 ≤ 150 °C
材料 バルブ本体、プレート EN AW-6082 (3.2315)またはAISI 316L (1.4404または1.4435)
  シャフト AISI 316L (1.4404または1.4435)
シール フィードスルー FKM (例:Viton®)
取り付け位置   任意。ただしISO-KFフランジ仕様を水平取り付けする場合はサポートが必要。
     
    DN 25 ...                 DN 320
最大差圧 プレート上 1000 mbar ...                 75 mbar
コンダクタンス 分子流領域 22 ls-1 ...                 27000 ls-1
制御可能最少コンダクタンス 分子流領域 0.15 ls-1 ...                 6 ls-1
閉時間または開時間(代表値)
「位置のみ」バージョン
アルミニウム、ステンレス鋼 0.09 s ...                 0.29 s
重量 アルミニウムバルブ
ステンレス鋼バルブ
2.0 kg (4.40 lbs)
2.5 kg (5.5 lbs)
...                 10.4 kg (23 lbs)
12.3 (27.1 lbs)

 

 

1) 最大値はバルブ動作条件およびシーリング材により変わる。

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