バタフライコントロールバルブ61.3は抜群の圧力制御性能を発揮します。0.1秒という高速で正確に動作するモーションコントローラは、CVDやALDプロセス下での正確な制御に最適なソリューションです。プレートの回転動作により、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。61.3に一体化された圧力コントローラは、設定された圧力に可能な限り早く達成するために必要なプレート位置を計算します。
この製品は、ガス流にパーティクルが含まれる過酷な下流プロセスでも使用可能となるよう設計されています。61.3は構造上、高いパーティクル負荷やデブリの蓄積があっても完全に機能します。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある61.3は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計や直接取り付けのオプションだけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、61.3はあらゆる面で納得のいく製品です。
本体の材質はもちろん、表面処理やエラストマー、フランジ接続、特殊なサイズ、特殊な制御アルゴリズム（適応型制御、fix PID本体の材質はもちろん、表面処理やエラストマー、フランジ接続、特殊なサイズ、特殊な制御アルゴリズム（適応型制御、fix PID/ソフト排気制御）など、様々な設計オプションが用意されており、様々な真空用途へ簡単に組み込むことができます。
バタフライコントロールバルブ61.3はアルミニウムとステンレスから選択でき、接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Fです。また、お客様指定のフランジにも対応可能で、断熱材入りのヒータなど特殊な機能もご用意しております。ご要望に応じて様々なFFKM/FKMエラストマーもご用意しております（標準はFKM）。
特徴：
メリット：
| サイズ | DN 25 (1")、DN 40 (1½")、DN 50 (2")、 DN 63 (2½")、DN 80 (3")、DN 100 (4")、 DN 160 (6")、DN 200 (8")、DN 250 (10")、 DN 320 (12") |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| アクチュエータ | ステッピングモーター搭載一体型コントローラ | ||||||||||||
| バルブ本体の材質 | アルミニウムまたはステンレス | ||||||||||||
| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-F | ||||||||||||
| リークレート、バルブ本体 | アルミニウム | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |||||||||||
| ステンレス | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||||||||||||
| 圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) | ||||||||||||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 圧力制御 | 2,000,000サイクル | |||||||||||
| 許容温度 | バルブ本体 | ≤ 150 °C | |||||||||||
| 材質 | バルブ本体、プレート |
アルミニウム |
EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 または 1.4435) |
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| シャフト | AISI 316L (1.4404 または1.4435) | ||||||||||||
| シール | フィードスルー | FKM | |||||||||||
| フィードスルー | 回転軸, 直接駆動型 | ||||||||||||
| 取付け位置 | 任意（シャフトがポンプ側になるよう設置ください） | ||||||||||||
| DN 25 | ... | DN 320 | |||||||||||
| 最大差圧 | プレート上 | 1000 mbar | ... | 75 mbar | |||||||||
| コンダクタンス | 分子流領域 | 22 ls-1 | ... | 27000 ls-1 | |||||||||
| 制御可能最少コンダクタンス | 分子流領域 | 0.15 ls-1 | ... | 6 ls-1 | |||||||||
| 閉時間または開時間（代表値） 「位置のみ」バージョン |
アルミニウム、ステンレス鋼 | 0.09 s | ... | 0.29 s | |||||||||
| 重量 | アルミニウムバルブ ステンレスバルブ |
2.0 kg (4.40 lbs) 2.5 kg (5.5 lbs) |
... | 10.4 kg (23 lbs) 12.3 (27.1 lbs) |
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