バタフライコントロールバルブSERIES 61.3は抜群の圧力制御性能を発揮します。0.1秒という高速で正確に動作するモーションコントローラは、CVDやALDプロセスの微細な制御に最適なソリューションです。プレートは絞りとして機能し、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。SERIES 61.3に一体化された圧力コントローラは、設定された圧力を可能な限り早く達成するために必要なプレート位置を素早く計算します。
この製品は、ガス流にパーティクルが含まれる過酷な下流プロセス専用に設計されています。SERIES 61.3は構造上、高いパーティクル負荷やデブリの蓄積があっても完全に機能します。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 61.3は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計や直接取り付けのオプションだけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、SERIES 61.3はあらゆる面で納得のいく製品です。
本体の材質はもちろん、表面処理やエラストマー、フランジ接続、特殊なサイズ、特殊な制御アルゴリズム（適応型制御、fix PID/ソフト排気制御）など、様々な設計オプションが用意されており、様々な真空システムへ簡単に組み込むことができます。
バタフライコントロールバルブSERIES 61.3はアルミニウムとステンレス鋼から選択でき、接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Fです。また、お客様指定のフランジにも対応可能で、断熱材入りのヒータのような特殊な機能もご用意しております。ご要望に応じて様々なFFKM/FKMエラストマーもご用意しております（標準はFKM Viton®）。
特徴：
メリット：
| サイズ | DN 25 (1")、DN 40 (1½")、DN 50 (2")、 DN 63 (2½")、DN 80 (3")、DN 100 (4")、 DN 160 (6")、DN 200 (8")、DN 250 (10")、 DN 320 (12") |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| アクチュエータ | ステッピングモーター搭載一体型コントローラ | |||||||||||
| 超高速バージョン | < 0.1 s（DNとプレートの材質による） | |||||||||||
| ボディ素材 | アルミニウムまたはステンレス鋼 | |||||||||||
| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-F | |||||||||||
| 漏れ率（バルブ本体） | アルミニウム | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||||||||||
| ステンレス鋼 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |||||||||||
| 圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) | |||||||||||
| 第1回サービスまでのサイクル数 1) | 圧力制御 | 200万 | ||||||||||
| 許容温度 | バルブ本体 | ≤ 150 °C | ||||||||||
| 材料 | バルブ本体、プレート | EN AW-6082 (3.2315)またはAISI 316L (1.4404または1.4435) | ||||||||||
| シャフト | AISI 316L (1.4404または1.4435) | |||||||||||
| シール | フィードスルー | FKM (例：Viton®) | ||||||||||
| 取り付け位置 | 任意。ただしISO-KFフランジ仕様を水平取り付けする場合はサポートが必要。 | |||||||||||
| DN 25 | ... | DN 320 | ||||||||||
| 最大差圧 | プレート上 | 1000 mbar | ... | 75 mbar | ||||||||
| コンダクタンス | 分子流領域 | 22 ls-1 | ... | 27000 ls-1 | ||||||||
| 制御可能最少コンダクタンス | 分子流領域 | 0.15 ls-1 | ... | 6 ls-1 | ||||||||
| 閉時間または開時間（代表値） 「位置のみ」バージョン |
アルミニウム、ステンレス鋼 | 0.09 s | ... | 0.29 s | ||||||||
| 重量 | アルミニウムバルブ ステンレス鋼バルブ |
2.0 kg (4.40 lbs) 2.5 kg (5.5 lbs) |
... | 10.4 kg (23 lbs) 12.3 (27.1 lbs) |
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1) 最大値はバルブ動作条件およびシーリング材により変わる。
