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サブファブシステム

腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります。真空バルブの主な機能は以下の通りです。逆流汚染の防止、流量制御、ポンプの隔離。

したがって、信頼性、安全性、可用性が、サブファブプロセスで使用される真空バルブの決定的な成功基準となります。世界中のサブファブに何千台もの真空バルブを設置してきた経験に基づき、包括的で実績のあるVAT真空バルブのポートフォリオは、サブファブのあらゆる要件に対応しています。

サブファブシステムの問題を解決するためのVAT真空バルブソリューションの詳細については、以下の製品からお選びください。

対象製品

新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

09.1

1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)

新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

ガスの流れに副生成物が多く含まれる場合の隔離用途

保護リング付き高真空ゲートバルブ

09.1

1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)

保護リング付き高真空ゲートバルブ

ガスの流れに副生成物が多く含まれる場合の隔離用途

FVゲートバルブ

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

FVゲートバルブ

真空防止の標準バルブ

HVシリンダーバルブ(アングルバージョン)

25.0

1 × 10-8 mbar~3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ(アングルバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

HVシリンダーバルブ(インラインバージョン)

25.1

1 × 10-8 mbar~3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ(インラインバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

HVシリンダーバルブ (3/2wayバージョン)

25.2

1 × 10-8 mbar~3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ (3/2wayバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

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