したがって、信頼性、安全性、可用性が、サブファブプロセスで使用される真空バルブの決定的な成功基準となります。世界中のサブファブに何千台もの真空バルブを設置してきた経験に基づき、包括的で実績のあるVAT真空バルブのポートフォリオは、サブファブのあらゆる要件に対応しています。
サブファブシステムの問題を解決するためのVAT真空バルブソリューションの詳細については、以下の製品からお選びください。
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