1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs)

09.1 保護リング付き高真空ゲートバルブ

ガスの流れに副生成物が多く含まれる場合の隔離用途

製品の指定

最も過酷なサブファブプロセス用

ガスの流れに副生成物が非常に多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 09.1で、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計と保護リングにより、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。さらに保護リングは、バルブが開位置にあるときにハウジングを完全に覆うことで、プレートハウジング内の沈着物の蓄積を防ぎます。09.1 高真空ゲートバルブは、最大1 barの差圧で、完全に機能します。

プロセス条件を問わず、すでに利用実績のある保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 09.1は、厳しい環境での使用にも耐え、サブファブ用途においてその抜群の信頼性を証明してきました。どのような用途にも簡単に統合できます。

保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 09.1には空気圧バージョンがあります。制御バルブの標準電圧は24VDCです。標準のシール材はFKMを使用していますが、それ以外の素材の使用もご要望にお応えします。また、ソフトポンプ機能の統合や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。

保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 09.1の主な特徴

特徴：

くさび形設計によるセルフクリーニング機能
保護リングによる沈着の蓄積防止
最大1 barの差圧で可能なバルブ開放

メリット：

過酷な環境下でも優れた信頼性
長いメンテナンスサイクル
低い稼働コスト

技術データ

サイズ		DN 100 (4")
アクチュエータ	圧空作動式	複動式
ボディ素材		ステンレス鋼
フィードスルー		ベローズ
標準フランジ		ISO-F
漏れ率	バルブ本体	< 1 × 10^-9 mbar ls^-¹
	バルブシート	< 1 × 10^-7 mbar ls^-¹
圧力範囲		1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs)
差圧	ゲート部	≤ 1.2 bar
	開動作時	≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数		1000
許容温度	バルブ本体	≤ 150 °C
	アクチュエータ	≤ 100 °C
	電磁弁	≤ 50 °C
	位置インジケーター	≤ 70 °C
材料	バルブ本体、ゲート	AISI 304 (1.4301)
	ベローズ	AISI 633 (AM350)
シール	ボンネット、ゲート	FKM (フッ素ゴム) オプション：FFKM (Chemraz SFXなど)
取り付け位置		自由
電磁弁		24 VDC、1 W (ご要望による)
位置インジケーター：接触評価	電圧	24 VAC/DC
	電流	≤0.5 A
	パワー	最大10 W