サブファブシステム
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります...
詳細情報
最も過酷なサブファブプロセス用
ガスの流れに副生成物が非常に多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1 で、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計と保護リングにより、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。さらに保護リングは、バルブが開位置にあるときにハウジングを完全に覆うことで、プレートハウジング内の沈着物の蓄積を防ぎます。
09.1高真空ゲートバルブは、最大1 barの差圧で、完全に機能します。
プロセス条件を問わず、すでに利用実績のある保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1は、厳しい環境での使用にも耐え、サブファブ用途においてその抜群の信頼性を証明してきました。どのような用途にも簡単に統合できます。
保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1には空気圧バージョンがあります。制御バルブの標準電圧は24 VDCです。標準のシール材はFKMを使用していますが、それ以外の素材の使用もご要望にお応えします。また、ソフトポンプ機能の統合や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。
保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1の主な特徴
特徴：
- くさび形設計によるセルフクリーニング機能
- 保護リングによる沈着の蓄積防止
- 最大1 barの差圧で可能なバルブ開放
メリット：
- 過酷な環境下でも優れた信頼性
- 長いメンテナンスサイクル
- 低い稼働コスト
技術データ
| サイズ | DN 100 (4") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 空気圧 | 複動式 | |
| バルブボディの材質 | ステンレス | ||
| フィードスルー | ベローズ | ||
| 標準フランジ | ISO-F | ||
| リークレート | バルブボディ | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
| 使用圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) | ||
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | ≤ 1.2 bar | ||
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 1 bar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 1000 | ||
| 許容温度 | バルブボディ | ≤ 150 °C | |
| アクチュエータ | ≤ 100 °C | ||
| 電磁弁 | ≤ 50 °C | ||
| リミットスイッチ | ≤ 70 °C | ||
| 材料 | バルブボディ、プレートゲート | AISI 304 (1.4301) | |
| ベローズ | AISI 633 (AM350) | ||
| シール | ボンネット、ゲート | FKM (フッ素ゴム) オプション：FFKM |
|
| 取付方向 | 自由 | ||
| 電磁弁 | 24 VDC、1 W | ||
| リミットスイッチ：メカニカルスイッチ | 電圧 | 24 VAC/DC | |
| 電流 | ≤0.5 A | ||
| パワー | 最大10 W | ||
| 重量 | 20 kg / 44.1 lbs | ||
