最も過酷なサブファブプロセス用

ガスの流れに副生成物が非常に多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 09.1で、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計と保護リングにより、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。さらに保護リングは、バルブが開位置にあるときにハウジングを完全に覆うことで、プレートハウジング内の沈着物の蓄積を防ぎます。09.1 高真空ゲートバルブは、最大1 barの差圧で、完全に機能します。

プロセス条件を問わず、すでに利用実績のある保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 09.1は、厳しい環境での使用にも耐え、サブファブ用途においてその抜群の信頼性を証明してきました。どのような用途にも簡単に統合できます。


保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 09.1には空気圧バージョンがあります。制御バルブの標準電圧は24VDCです。標準のシール材はFKMを使用していますが、それ以外の素材の使用もご要望にお応えします。また、ソフトポンプ機能の統合や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。


保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 09.1の主な特徴

特徴:

  • くさび形設計によるセルフクリーニング機能
  • 保護リングによる沈着の蓄積防止
  • 最大1 barの差圧で可能なバルブ開放

メリット:

  • 過酷な環境下でも優れた信頼性
  • 長いメンテナンスサイクル
  • 低い稼働コスト
技術データ
サイズ   DN 100 (4")
アクチュエータ 圧空作動式 複動式
ボディ素材   ステンレス鋼
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ   ISO-F
漏れ率 バルブ本体 < 1 × 10-9 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-7 mbar ls-1
圧力範囲   1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
差圧 ゲート部 ≤ 1.2 bar
  開動作時 ≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数   1000
許容温度 バルブ本体 ≤ 150 °C
  アクチュエータ ≤ 100 °C
  電磁弁 ≤ 50 °C
  位置インジケーター ≤ 70 °C
材料 バルブ本体、ゲート AISI 304 (1.4301)
  ベローズ AISI 633 (AM350)
シール ボンネット、ゲート FKM (フッ素ゴム)
オプション:FFKM (Chemraz SFXなど)
取り付け位置   自由
電磁弁   24 VDC、1 W (ご要望による)

位置インジケーター:接触評価

電圧 24 VAC/DC
  電流 ≤0.5 A
  パワー 最大10 W
カスタマイズ済みソリューション

カスタマイズしたソリューションを指定します。

仕様を収集するのに役立つスペックシートをダウンロードしてください。 すでに仕様書をお持ちの場合は、アップロードして送信してください。 見積もりをお送りします。