最も過酷なサブファブプロセス用

ガスの流れに副生成物が非常に多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1 で、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計と保護リングにより、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。さらに保護リングは、バルブが開位置にあるときにハウジングを完全に覆うことで、プレートハウジング内の沈着物の蓄積を防ぎます。

09.1高真空ゲートバルブは、最大1 barの差圧で、完全に機能します。

プロセス条件を問わず、すでに利用実績のある保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1は、厳しい環境での使用にも耐え、サブファブ用途においてその抜群の信頼性を証明してきました。どのような用途にも簡単に統合できます。

09.1 保護リング付き高真空ゲートバルブ

09.1 保護リング付き高真空ゲートバルブ - 閉
09.1 保護リング付き高真空ゲートバルブ - 開

保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1には空気圧バージョンがあります。制御バルブの標準電圧は24 VDCです。標準のシール材はFKMを使用していますが、それ以外の素材の使用もご要望にお応えします。また、ソフトポンプ機能の統合や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。


保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1の主な特徴

特徴:

  • くさび形設計によるセルフクリーニング機能
  • 保護リングによる沈着の蓄積防止
  • 最大1 barの差圧で可能なバルブ開放

メリット:

  • 過酷な環境下でも優れた信頼性
  • 長いメンテナンスサイクル
  • 低い稼働コスト
技術データ
サイズ   DN 100 (4")
アクチュエータ 空気圧 複動式
バルブボディの材質   ステンレス
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ   ISO-F
リークレート バルブボディ < 1 × 10-9 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-7 mbar ls-1
使用圧力範囲   1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
ゲートにかけ得る許容最大差圧   ≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧   ≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数   1000
許容温度 バルブボディ ≤ 150 °C
  アクチュエータ ≤ 100 °C
  電磁弁 ≤ 50 °C
  リミットスイッチ ≤ 70 °C
材料 バルブボディ、プレートゲート AISI 304 (1.4301)
  ベローズ AISI 633 (AM350)
シール ボンネット、ゲート FKM (フッ素ゴム)
オプション:FFKM
取付方向   自由
電磁弁   24 VDC、1 W
リミットスイッチ:メカニカルスイッチ 電圧 24 VAC/DC
  電流 ≤0.5 A
  パワー 最大10 W
重量   20 kg / 44.1 lbs
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