サブファブシステム
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります...
詳細情報
ワンスイングメカニズムで簡単操作
ガスフロー中の副生成物の割合が高いと、バルブの故障や、堆積物の形成による予定外のメンテナンス作業につながる可能性があります。09.2 HVゲートバルブWEDGE方式はこれを防止します。セルフクリーニング機能付きの特別なウェッジデザインのおかげで、バルブシートに大量の堆積物があっても確実に開閉できます。ゲートのくさび形設計により、可能性のある堆積物はバルブシートまたはゲートシールから押し出され、常に確実な密閉を保証できます。
ウェッジデザインの09.2 HVゲートバルブは、特許を取得した簡単に閉じてロック保持できる手動弁です。
ワンスイングレバー機構により、一回の動作でゲートを素早く閉じることができます。プレートを閉位置にロックガス流の確実な遮断を保証します。さらに最大1 barの差圧でも完全に機能します。
プロセス条件を問わず、すでに様々な利用実績のある09シリーズゲートバルブは、厳しい環境での仕様にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。特にサブファブ環境では、真空ポンプ隔離の標準ソリューションになっています。
09.2はアルミ製で、DN 100及びDN 160サイズ、ISO-Fフランジにて提供可能です。09.2は可視化されたポジションインジケータを使用しています。シール材はFKMです。09.2にはオプションでヒータージャケットを取り付けることができ、より高温での運用が可能です。バルブボディの最大使用温度は150°Cとなっています。
ゲートおよびバルブシートのくさび形で、セルフクリーニング機構になり、Oリングの完全密閉機能を維持しながら、漏れのリスクを回避します。
09.2 HVゲートバルブWEDGE方式の主な特徴
特徴:
- ウェッジデザインによるセルフクリーニング機能搭載
- 最大1 barの差圧でバルブ開閉可能
- ワンスイングで閉じる機構
メリット:
- 優れた信頼性
- 簡単な操作と取り扱い
- 低ランニングコスト
技術データ
| サイズ | DN 100 (4“), DN 160 (6“) | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | ワンスイング動作 | ||
| バルブボディの材質 | アルミ | ||
| フィードスルー | シャフトフィードスルー | ||
| 標準フランジ | ISO-F | ||
| リークリークレート | バルブボディ | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-5 mbar ls-1 | ||
| 使用圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) | ||
| 許容最大差圧（プレート） | ≤ 1.2 bar | ||
| 許容最大差圧（開閉時） | 開方向 | ≤ 1 bar | |
| 閉方向 | ≤ 30 mbar | ||
| コンダクタンス (分子流) | 1700 ls-1 | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 500 (非加熱、クリーンな環境下) | ||
| 許容温度 | バルブボディ | ≤ 150 °C | |
| アクチュエータ | ≤ 100 °C | ||
| 最大加熱・冷却レート | 50 °C h-1 | ||
| 材質 | バルブボディ | EN AW-6061 T651 | |
| ゲート | AISI 304 (1.4301, 1.4308) | ||
| アクチュエータ | AISI 304 (1.4301) | ||
| シール | ボンネット, ゲート | FKM | |
| 取付方向 | 水平方向 | ||
| 重量 | 7.5 kg / 16.5 lbs | ||
