02.4

大型角型ゲートバルブMONOVAT

第6世代までのディスプレイおよびPV生産システムで発揮される優れたパフォーマンス

02.7

ロールツーロール角型ゲートバルブMONOVAT

ウェブ/金属箔生産システムで発揮される高性能

04.2 1 × 10-9 mbar～1.2 bar (abs)

HV角型ゲートバルブL-VAT

ロードロック、プロセスチャンバーの真空封止用

04.3 1 × 10-6 mbar～1.1 bar (abs)

高真空角型ゲートバルブL-MOTION

高速で高精度、腐食性の高いプロセスに最適

05.2 1 × 10-9 mbar～1.2 bar (abs)

HV角型インサートL-VAT

ロードロック、プロセスチャンバーの真空封止用

05.3 1 × 10-9 mbar～1.1 bar (abs)

高真空角型インサートL-MOTION

高速で高精度、腐食性の高いプロセスに最適

06.1

大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVAT

ディスプレイ生産システム向けの高性能

06.3

大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVAT

ディスプレイ生産システム向けの高性能 - 大気圧バージョン

06.6

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアSOLVAT

ディスプレイ、PV、大型コーティングシステムで高いパフォーマンスを発揮

06.8

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアFLAPVAT

ディスプレイ、PV、大型成膜装置に最適