均一なゲート圧縮による信頼性の高い隔離

L-MOTION技術を採用した04.3角型バルブは、エッチングやCVDなどの腐食性の高いプロセスに特に適しています。L-MOTIONとは、単一軸の圧空アクチュエータによってゲートをL字型に動かす技術です。このL-MOTIONでは、ゲートをバルブ本体に接触させることなく垂直方向に閉位置まで移動させてから、さらに水平方向に移動させてゲートシートに押し付け、それと同時に全く同じ圧力でシールをゲートシートに接触させます。 これにより、摩擦やそれに伴う潜在的なパーティクルの発生を防ぐだけでなく、シールの摩耗も最小限に抑えることができます。

パーティクルの発生や活性化をさらに抑えるために、ゲートには加硫処理されたシールが装着されています。この仕組みは、標準的なOリングシーリングよりも信頼性が高く、耐久性も高いシーリングソリューションですが、標準のOリングシーリングもオプションとして利用可能です。シャフトフィードスルーは、耐久性の高い金属製の溶接ベローズで密閉されています。

ゲートには、その全長にわたって同じ密閉度を確保するために、特殊な圧縮バーが取り付けられています。このバーによって、ゲートのすべての領域で密閉圧力が均等に
分配されます。

停電時には、SERIES 04.3を空気圧で閉位置にロックできます。

L-MOTION 角型ゲートバルブSERIES 04.3は、メンテナンスフリーの動作期間が長くなるように設計されています(第1回サービスまでのサイクル数は最大300万サイクル)

様々な半導体生産工程において、すでに何百もの利用実績のあるSERIES 04.3は、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計だけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、SERIES 04.3はあらゆる面で納得のいく製品です。


見た目上、閉じた状態

L-MOTION 角型ゲートバルブSERIES 04.3 はすべて、お客様の仕様に合わせて作られています。ただし、リアサイドの開口部が異なるボンネットフランジを備えた2つのバルブタイプと、内側または外側チャンバーバルブシートを備えた2つのインサートタイプ、合わせて4つの所定の基本構造があります。

バルブ本体の材質は、アルミニウム、硬質陽極酸化またはニッケルメッキ、およびステンレス鋼からお選びいただけます。ゲートおよびボンネットシールはFKMまたはFFKMですが、ご要望に応じて他のシーリング材もお選びいただけます。

L-MOTION 高真空角型ゲートバルブSERIES 04.3の主な特徴

特徴

  • 腐食性の高いプロセス条件でも信頼性の高いオペレーション
  • パーティクルの発生と活性化を防ぐL-MOTION技術
  • ゲート圧力を均等に分配する圧縮バー
  • ベローズシールシャフトフィードスルー
  • 長期間メンテナンス不要
  • スムーズで低振動な動き

メリット:

  • 高い稼働率/制約を受けないパフォーマンス
  • 高速動作
  • 低い運用コスト
技術データ
サイズ   50 x 336 mm~80 x 500 mm (1.97" x 13.23"~3.15" x 19.69")
アクチュエータ 圧空作動式 複動式、位置インジケーター付き
ボディ素材   表面処理なしまたは硬質アルマイド加工アルミニウム
フィードスルー   ベローズ
漏れ率   材質によって変わる
圧力範囲 表面処理なしまたはニッケルメッキアルミ ニウム 1 × 10-9 mbar~1.1 bar (abs)
  硬質アルマイド加工アルミニウム 1 × 10-6 mbar~1.1 bar (abs)
差圧 ゲート部 1.1 bar
  開動作時 ≤ 30 mbar
第1回サービスまでのサイクル数   ≥300万
許容温度 バルブ本体、ゲート ≤ 120 °C
  アクチュエータ ≤ 80 °C
加熱および冷却速度   ≤ 40 °C h-1
材料 バルブ本体、ゲート、サービスカバー EN AW-5083 (3.3547)、EN AW-6061 (3.3211)、EN AW-6082 (3.2315)
  ベローズ端部材、シャフト AISI 316L (1.4404)
  ベローズ AISI 633 (AM 350)
シール ゲート、サービスカバー FKM (Viton®)
取り付け位置   アクチュエータ上または下
インパルス電磁弁   24 VDC、2.5 W (ご要望による)
位置インジケーター:接触評価 電圧 ≤ 50 V AC/DC
  電流 ≤ 0.1 A ≤ 5 mA
  連結部 9ピンサブミニチュアD
圧縮空気接続   クイックコネクタO. D. 6mm
標準製品の指定

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カスタマイズ済みソリューション

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