61.3 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

バタフライコントロールバルブ

高速で正確な圧力制御

61.6 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

HV締切り機能付バタフライコントロールバルブ

高速で正確に圧力を制御、締切り

62.0 1 × 10-8 mbar～1.4 bar (abs)

HVアングルコントロールバルブ

高圧・高温ソリューション

64.2 DN 63 – 200

高真空コントロールゲートバルブ

高サイクルの真空制御と隔離に最適

64.8 DN 160

UHVコントロールゲートバルブ

標準的な真空制御と真空封止に

65.3 1 × 10-8 mbar～1 bar (abs)

HV振子式コントロールバルブ

SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適

65.5 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs)

HV振子式コントロールバルブ

高いプロセス圧力と小流量の腐食性エッチング用途に最適

67.0 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs)

均等排気バルブ

ガスの流れを最適化する圧力制御

95.3 DN 25 –DN 50

HVコントロール・締め切りバタフライバルブコンボユニット

コンパクトで高性能