製品用途:体積流量の制御。コンダクタンスの最小値と最大値の制御範囲、制御と制御機構の精度と信頼性が決め手となります。
高速で正確な圧力制御
高速で正確に圧力を制御、締切り
高圧・高温ソリューション
高サイクルの真空制御と隔離に最適
標準的な真空制御と真空封止に
SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適
高いプロセス圧力と小流量の腐食性エッチング用途に最適
ガスの流れを最適化する圧力制御
コンパクトで高性能