超高真空プロセスに適した信頼性の高い精密な制御

UHVコントロールゲートバルブSERIES 64.8は、半導体製造のスパッタリングやEUVなどの用途において、超高真空プロセスで信頼性の高い精密な制御と真空封止を提供するように設計されています。このバルブは耐久性とモジュール性、気密性、保守性については標準的な要求を満たしながら、高い稼働率と低コストを特に重視しています。

SERIES 64.8にはプレート部の摩擦を排除し、確実な密閉性を実現するVATLOCK技術を採用。プレートは絞りとして機能し、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。オンボード圧力コントローラは、セットポイント圧力を実現するために必要なプレート位置を計算します。アクチュエーションはステッピングモーターが行い、エンコーダでプレート位置をモニタリング。これにより、迅速かつ正確なプロセス圧力制御が可能になっています。閉位置では、特殊なVATLOCKログイン機構によってリークタイトな真空封止が保証され、停電時にはフェイルセーフ機能によって閉じます。

超高真空性能はメタルボンネットシールや密閉型蛇腹フィードスルーに加えて、Vulcanized  seal(オプションでOリング)により実現しています。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 64.8は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。その頑丈で潤滑剤不要の設計は、高サイクル真空コントロールゲートバルブとしてあらゆる要求を満たしています。


多様な真空用途に簡単に組み込むことができるように、UHVコントロールゲートバルブSERIES 64.8には、シーリング材やフランジ接続、粗引き(バイパス)、排気またはゲージ用ポート、特別な制御アルゴリズム(適応型制御、fix PI下流/ソフト排気制御)などとともに、様々な設計オプションが用意されています。またコントローラは、バルブとは別に取り付けることもできます。

このシリーズのサイズはDN 200~250 mm(8”~10”)からお選びいただけます。


UHVコントロールゲートバルブSERIES 64.8の主な特徴

特徴:

  • 超高真空に対応する、信頼性の高い実証済みの設計
  • 潤滑剤不要
  • VATLOCK技術
  • 頑丈なステンレス鋼ボディ

メリット:

  • 信頼性の高い精密な制御と隔離
  • 長期間メンテナンス不要
  • 低コスト
技術データ
サイズ   DN 160 (6")、DN 200 (8")、DN 250 (10")
アクチュエータ   クローズドループ制御ステッピングモーター付き一体型圧力コントローラ
ボディ素材   ステンレス鋼
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ   ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS
漏れ率 バルブ本体 < 5 × 10-10 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1
圧力範囲 DN 160~200
DN 250
1 × 10-10 mbar~1.6 bar (abs)
1 × 10-10 mbar~1.2 bar (abs)
ゲートにかけ得る許容最大差圧 DN 160~200
DN 250
≤ 1.6 bar
≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧   ≤ 30 mbar
第1回サービスまでのサイクル数 圧力制御(開~最大開)
シャットオフ(開~閉~開)
100 000
30 000
許容温度 バルブ本体 ≤ 80°C
  コントローラ 最大50 °C(推奨≤ 35 °C)
材料 バルブ本体 AISI 304 (1.4301)
  機構 AISI 316L (1.4404) (DN 160~200)
AISI 304 (1.4301) (DN 250)
  ベローズ AISI 316L (1.4404、1.4435)
シール ボンネット 金属
  ゲート FKM (Viton®)
取り付け位置   自由
バルブの開閉位置表示   コントローラ上と機械的な目視位置表示付き

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
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