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3ポジションバルブ

アイソレーションバルブとコントロールバルブの中間の機能を有し、開位置と閉位置に加えて、バルブゲートの調整可能な3番目の位置を規定できます。このゲート位置は、しばしば「光学的に閉じている」ように設計されていますが、「スタンバイ」機能や、圧力ピークを避けるためにコンダクタンスを低減したスムーズな開弁も可能です。

10.8 1 × 10-10 mbar~1.2 bar (abs)

UHVゲートバルブ

UHV隔離の標準バルブ

11.1 1 × 10-8 mbar to 1.6 bar (abs)

高真空ゲートバルブ

高真空防止の標準バルブ

14.0

高真空ゲートバルブ

標準的な高サイクル真空隔離用

16.2 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)

HV振子式遮断バルブ

エバポレーターやスパッタリング用途でのポンプアイソレーションに最適

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