どんな環境でも完璧に隔離

UHVゲートバルブSERIES 10.8にはゲートシール部の摩擦を排除し、確実な密閉性を実現するために開発された特殊な技術、VATLOCKテクノロジーを採用。VATLOCK機構はバルブの閉終了位置で機械的にロックする仕組みで、バルブの故障も防ぎます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 10.8は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。今ではこのバルブがDN63~320mm(2.5"~12.5")のUHV隔離の標準となっています。

頑丈で潤滑剤不要、最高250℃の耐熱温度のこのバルブは、産業や研究開発で求められる最も高度な要件をも満たしてくれます。

各種アクチュエータや取り付け用フランジのオプションも多彩に取り揃えており、どんなUHVシステムにも簡単に統合可能。特殊オプションも幅広く、窓やポートの有無、シーリング材も自由に選択でき、お客様の用途にぴったりと合わせることができます。


UHVゲートバルブ SERIES 10.8には手動式、圧空作動式、3位置圧空作動式があり、電磁弁は内蔵式または外部取り付けからお選びいただけます。電磁弁の標準電圧は24 VDC ですが、それ以外もご要望に応じてお選びいただけます。バルブの位置はC接点付きリミットスイッチの2重リミットスイッチ(開、閉それぞれの位置に2つのリミットスイッチ付き)で表示しています。

接続用フランジの標準オプションは、ISO-F、CF-F、ASA-LおよびJISです。お客様指定のフランジも、水冷機構あり/なしどちらでも対応可能です。

バルブゲートのシールには、最大DN 200mm(7.8")のOリングまたはVulcanizedシールをお選びいただけます。おすすめは、真空性、信頼性共に高く優れたパフォーマンスを発揮するVulcanizedシールです。


UHVゲートバルブ SERIES 10.8の主な特徴

特徴:

  • 実証済みの信頼性の高い設計
  • 潤滑剤不要、耐熱温度250℃
  • メタルボンネットシール
  • フェイルセーフ設計のVATLOCKテクノロジー
  • 頑丈なステンレス鋼ボディ
  • フィードスルーの金属溶接ベローズシール

メリット:

  • エラストマーシールの仕切り弁ではクラス最高の真空性能
  • 信頼性の高いオペレーション
  • 手間いらずの簡単メンテナンス
  • 低コスト
技術データ
サイズ   DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8")、DN 250 (10")、DN 320 (12")
アクチュエータ 3ポジション圧空作動式 複動式
  手動式 クランクハンドル付き
ボディ素材   ステンレス鋼
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ   ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS
漏れ率 バルブ本体 < 5 × 10-10 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1
圧力範囲   1 × 10-10 mbar~1.6 bar (abs) (DN 63 – 200)
1 × 10-10 mbar~1.2 bar (abs) (DN 250 – 320)
差圧 ゲート部 ≤ 1.6 bar (DN 63 – 200)
≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)
  開動作時 ≤ 30 mbar
第1回サービスまでのサイクル数   50 000
許容温度 バルブ本体 ≤ 250 °C (バルブ開) / ≤ 200 °C (バルブ閉)
  圧空アクチュエータ ≤ 200 °C
  電磁弁 ≤ 50 °C
  位置インジケーター ≤ 80 °C
  手動アクチュエータ ≤ 250 °C
加熱および冷却速度   ≤ 50 °C h-1
材料 バルブ本体 AISI 304 (1.4301)
  機構 AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 200)
AISI 304 (1.4301) (DN 250 – 320)
  ベローズ AISI 316L (1.4404, 1.4435)
シール ボンネット 金属
  ゲート FKM (Viton®)
取り付け位置   自由
電磁弁   24 VDC、5.4 W (ご要望による)
位置インジケーター:接触評価 電圧 ≤ 50 VAC/DC
  電流 ≤ 1.2 A
バルブの開閉位置表示   機械的な目視位置表示付き
標準製品の指定

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