コントロールバルブとしてもアイソレーションバルブとしても、またその両方の機能を組み合わせて使用することができます。大きなコンダクタンスの範囲で正確な制御が可能です。
汚染された腐食性の高い真空プロセスでも信頼性の高い隔離
コンパクトなデザインで信頼性の高い真空封止
高速で正確なダウンストリーム圧力制御
高速で正確に圧力を制御、締切り
コンパクトで高性能