1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs)

61.6 HV締切り機能付バタフライコントロールバルブ

高速で正確に圧力を制御、締切り

製品の指定

あらゆる環境下で抜群の圧力制御と締切り

HVバタフライコントロールバルブSERIES 61.6は抜群の圧力制御・締切り性能を発揮します。0.45秒という高速で正確に動作するモーションコントローラは、CVDプロセスの微細な制御と締切りに最適なソリューションです。プレートは絞りとして機能し、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。SERIES 61.6に一体化された圧力コントローラは、設定された圧力を可能な限り早く達成するために必要なプレート位置を素早く計算します。

SERIES 61.6の締切り機能は、バタフライバルブの特徴である高いシール摩耗を避けるために特別に設計されています。プレートシャフトの中心から外れた位置にあるバルブ本体とシールシートの特殊な形状により、シールの摩擦を最小限に抑えて、密閉性能を向上させています。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 61.6は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計や直接取り付けのオプションだけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、SERIES 61.6はあらゆる面で納得のいく製品です。

本体の材質はもちろん、表面処理やエラストマー、フランジ接続、シーリング材、特殊なサイズ、特殊な制御アルゴリズム（適応型制御、fix PID/ソフト排気制御）など、様々な設計オプションが用意されており、SERIES 61.6を様々な真空システムへ簡単に組み込むことができます。

高真空バタフライコントロールバルブSERIES 61.6はアルミニウムとステンレス鋼から選択でき、接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Fです。また、お客様指定のフランジにも対応可能で、断熱材入りのヒータのような特殊な機能もご用意しております。ご要望に応じて各種FFKM/FKMエラストマーもご用意しております（標準はFKM Viton®）。

HVバタフライコントロールバルブSERIES 61.6の主な特徴

特徴：

優れた圧力制御および締切り
非常に高速な動作
ローカル操作用のオンボードソフトウェア
過酷なプロセス条件でも信頼性の高いオペレーション

メリット：

プロセスの制御性が向上
高い稼働率/制約を受けないパフォーマンス
低い運用コスト

技術データ
ダウンロード

サイズ		DN 40 (")、DN 50 (2")、DN 63 (")、DN 80 (3")、DN 100 (4")
アクチュエータ		ステッピングモーター搭載一体型コントローラ, フィールドオリエンテッド制御 (foc)
ボディ素材		硬質アルマイド加工アルミニウムまたはステンレス鋼
標準フランジ		ISO-KF、ISO-F
漏れ率（バルブ本体）	硬質アルマイド加工アルミニウムステンレス鋼	< 1 × 10^-5 mbar ls^-1 < 1 × 10^-9 mbar ls^-1
漏れ率（バルブシート）	硬質アルマイド加工アルミニウムステンレス鋼	< 1 × 10^-4 mbar ls^-1 < 1 × 10^-9 mbar ls^-1
圧力範囲	硬質アルマイド加工アルミニウムステンレス鋼	< 1 × 10^-6 mbar～1.2 bar (abs) < 1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs)
第1回サービスまでのサイクル数	圧力制御シャットオフ	200万 25万(DN 40～50) 10万(DN 63～100)
許容温度	バルブ本体	≤ 120 °C
材料	アルミニウムバルブ本体/プレートステンレス鋼バルブ本体/シャフト	EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404または1.4435)
シール	プレートフィードスルー	FKM FKM
フィードスルー		ロータリーフィードスルー
取り付け位置		バルブシートはチャンバー側方向