あらゆる環境下で抜群の圧力制御と締切り

HVバタフライコントロールバルブSERIES 61.6は抜群の圧力制御・締切り性能を発揮します。0.45秒という高速で正確に動作するモーションコントローラは、CVDプロセスの微細な制御と締切りに最適なソリューションです。プレートは絞りとして機能し、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。SERIES 61.6に一体化された圧力コントローラは、設定された圧力を可能な限り早く達成するために必要なプレート位置を素早く計算します。

SERIES 61.6の締切り機能は、バタフライバルブの特徴である高いシール摩耗を避けるために特別に設計されています。プレートシャフトの中心から外れた位置にあるバルブ本体とシールシートの特殊な形状により、シールの摩擦を最小限に抑えて、密閉性能を向上させています。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 61.6は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計や直接取り付けのオプションだけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、SERIES 61.6はあらゆる面で納得のいく製品です。

本体の材質はもちろん、表面処理やエラストマー、フランジ接続、シーリング材、特殊なサイズ、特殊な制御アルゴリズム(適応型制御、fix PID/ソフト排気制御)など、様々な設計オプションが用意されており、SERIES 61.6を様々な真空システムへ簡単に組み込むことができます。


コントロール
隔離

高真空バタフライコントロールバルブSERIES 61.6はアルミニウムとステンレス鋼から選択でき、接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Fです。また、お客様指定のフランジにも対応可能で、断熱材入りのヒータのような特殊な機能もご用意しております。ご要望に応じて各種FFKM/FKMエラストマーもご用意しております(標準はFKM Viton®)。


HVバタフライコントロールバルブSERIES 61.6の主な特徴

特徴:

  • 優れた圧力制御および締切り
  • 非常に高速な動作
  • ローカル操作用のオンボードソフトウェア
  • 過酷なプロセス条件でも信頼性の高いオペレーション

メリット:

  • プロセスの制御性が向上
  • 高い稼働率/制約を受けないパフォーマンス
  • 低い運用コスト
  • 技術データ
  • ダウンロード
  • Dimensions
サイズ  

DN 40 (")、DN 50 (2")、DN 63 (")、DN 80 (3")、DN 100 (4")

アクチュエータ   ステッピングモーター搭載一体型コントローラ
ボディ素材   硬質アルマイド加工アルミニウムまたはステンレス鋼
標準フランジ   ISO-KF、ISO-F
漏れ率(バルブ本体) 硬質アルマイド加工アルミニウム
ステンレス鋼
< 1 × 10-5 mbar ls-1
< 1 × 10-9 mbar ls-1
漏れ率(バルブシート) 硬質アルマイド加工アルミニウム
ステンレス鋼
< 1 × 10-4 mbar ls-1
< 1 × 10-9 mbar ls-1
圧力範囲 硬質アルマイド加工アルミニウム
ステンレス鋼
< 1 × 10-6 mbar
< 1 × 10-8 mbar~1.2 bar
第1回サービスまでのサイクル数 圧力制御
シャットオフ
 
200万
25万(DN 40~50)
10万(DN 63~100)
許容温度 バルブ本体 ≤ 120 °C
材料 アルミニウムバルブ本体/プレート
ステンレス鋼バルブ本体/シャフト
EN AW-6082 (3.2315)
AISI 316L (1.4404または1.4435)
シール プレート
フィードスルー
FKM (例:Viton®)
FKM (例:Viton®)
フィードスルー   ロータリーフィードスルー
取り付け位置   バルブシートはチャンバー側方向

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
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カスタマイズ済みソリューション

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