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真空ゲートバルブ

主にアイソレーションバルブとして使用。断面が完全に開き、流れ方向に薄い構造が特徴です。

01.0 1 × 10-10 mbar~2 bar (abs)

ミニ UHV ゲートバルブ

過酷な使用に耐える多用途バルブ

01.2 1 × 10-7 mbar~1 bar (abs)

ミニゲートバルブ

汎用型遮断バルブ

08.1 1 × 10-7 mbar~1.6 bar (abs)

FV挿入式ゲートバルブ

設置スペースが限られている用途に(DN 63~100)

08.2 1 × 10-7 mbar~1.6 bar (abs)

FV挿入式ゲートバルブ

設置スペースが限られている用途に(DN 50)

09.1 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)

新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

副生成物を多く含むガス流の隔離に適した柔軟なソリューション

09.1 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)

保護リング付き高真空ゲートバルブ

副生成物量を非常に多く含むガス流の隔離に適した保護ソリューション

09.2 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HVゲートバルブWEDGE方式

副生成物を多く含むガス流の隔離のためのスタンダード

10.8 1 × 10-10 mbar~1.2 bar (abs)

UHVゲートバルブ

UHV隔離の標準バルブ

11.1 1 × 10-8 mbar to 1.6 bar (abs)

高真空ゲートバルブ

高真空防止の標準バルブ

12.1 1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

FVゲートバルブ

真空防止の標準バルブ

14.0

高真空ゲートバルブ

標準的な高サイクル真空隔離用

15.0 1 × 10-7 mbar~1 bar (abs)

LV遮断ゲートバルブ

並外れた低衝撃・低パーティクル性能

15.1 1 × 10-8 mbar~1 bar (abs)

HV遮断ゲートバルブ

並外れた低衝撃・低パーティクル性能

15.2 1 × 10-10 mbar~1 bar (abs)

UHV遮断ゲートバルブ

並外れた低衝撃・低パーティクル性能

17.2 1 × 10-8 mbar~2 bar (abs)

保護リング付き高真空ゲートバルブ

過酷な環境でも高い信頼性

19.0 1 × 10-7 mbar~1 bar (abs)

FV大型ゲートバルブ

大口径が必要な現場の標準

19.1 1 × 10-8 mbar~1 bar (abs)

HV大型ゲートバルブ

大口径が必要な現場の標準

19.2 1 × 10-10 mbar~1 bar (abs)

UHV大型ゲートバルブ

大口径が必要な現場の標準

47.1 極高真空~2 bar (abs)

極高真空 RFオールメタルゲートバルブ

ストレージリングまたはマイクロ波トランスミッションラインにおける信頼性の高い区分隔離

47.2 極高真空~2 bar (abs)

極高真空 RFオールメタルゲートバルブ

ストレージリングまたはマイクロ波トランスミッションラインにおける信頼性の高い区分隔離

48.1 極高真空~2 bar (abs)

極高真空オールメタルゲー トバルブ

高温用

48.2 極高真空~2 bar (abs)

極高真空オールメタルゲー トバルブ

高温用

64.2 DN 100 - 400

高真空コントロールゲートバルブ

高サイクルの真空制御と隔離に最適

64.8 1 × 10-10 mbar to 1.6 bar (abs)

UHVコントロールゲートバルブ

標準的な真空制御と真空封止に

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