極限超高真空条件下の信頼性の高い隔離

48.1 超高真空オールメタルゲートバルブシリーズは、バルブの高温環境最大300 °Cで超高真空および極高真空の応用において信頼性の高い隔離を実現するよう、また腐食性の凝縮するメディア用に、設計されています。耐放射線性最大108Gyです。

オールメタルゲートバルブは最大のコンダクタンスになるよう設計されており、VATRING密着シーリング技術が用いられています。この動的オールメタルシーリングシステムの特徴は、一貫した確実な密閉および絶え間ない閉力です。これにより、比較的低い軸力で高い密閉力が可能になります。シーリングパートナーはステンレス鋼で、弾性的にのみ変形します。48.1 極高真空オールメタルゲートバルブシリーズは、寿命サイクル2万回 (DN16~200mm)、5,000回 (DN250~320 mm) を実現できるように設計され、試験されています。シーリングシステムは、クリーンな真空環境で10万回リークしない封止性を備えています。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある48.1シリーズは厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。

アクチュエータや取り付け用フランジ、追加の真空ポートなどに様々な設計オプションが用意されているので、バルブをどのような真空用途にも簡単に統合できます。

手動式
圧空作動式
コンパクトなアクチ
ュエータ付き
圧空作動式
拡張アクチュエータ
付き

主な特徴は、他のご愛顧いただいているVATオールメタルバルブでも使用されている、密着VATRINGシーリングシステムです。

このバルブはDN 16~DN 320 mm (⅝インチ~12インチ) です。標準フランジはCF-Fです。

ゲート本体とアクチュエータの間の長さは、耐熱温度を開閉位置で最大300 °Cにするまで拡張可能です。窓付きゲート、また荒削り、排気用ポートやゲージ用ポートも、多様な設計オプションの一部です。


極高真空オールメタルゲートバルブSERIES 48.1の主な特徴

特徴:

  • 最大コンダクタンス
  • VATRINGオールメタル密着シーリング
  • 高温および放射線への耐性
  • 手動および圧空作動アクチュエーション

メリット:

  • 極高真空環境でも信頼性の高いパフォーマンス
  • 特定期間の寿命でメンテナンス不要
  • 現場で実証済みの技術
  • 低コスト
技術データ
サイズ   DN 16 (⅝")、DN 40 (1½")、DN 200 (8")、
DN 250 (10")、DN 320 (12")
アクチュエータ 手動式 ハンドホイールを使用
  圧空作動式 複動式
ボディ素材   ステンレス鋼
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ   CF-F
漏れ率 バルブ本体 < 1 × 10-10 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-10 mbar ls-1
圧力範囲   極高真空~2 bar (abs)
ゲートにかけ得る許容最大差圧   ≤ 2 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧 DN 16–40
DN 200 – 250
DN 320
≤ 1 bar
≤ 500 mbar 1)
≤ 500 mbar 2)
第1回サービスまでのサイクル数 DN 16 – 200
DN 250 – 320
20 000
5 000
許容温度 バルブ本体 ≤ 300
  手動アクチュエータ ≤ 140°C (オプション: 200°C)
  圧空アクチュエータ ≤ 200 °C
  電磁弁 ≤ 80 °C
  位置インジケーター ≤ 80 °C (オプション: 200 °C)
加熱および冷却速度 DN 16
DN 40 – 160
DN 200 – 320
≤ 80°C h-1
≤ 50°C h-1
≤ 25°C h-1
材料 バルブ本体 AISI 316L (1.4404、1.4435)
  機構 AISI 316L (1.4404、1.4435)
  ベローズ AISI 316L (1.4435)
シール ボンネット 金属
  ゲート 金属
取り付け位置 DN 16 – 250
DN 320
自由
ご要望による
電磁弁   24 VDC, 2.5 W (ご要望による)
位置インジケーター:接触評価 電圧 ≤ 50 VAC/DC
  電流 80°C: ≤ 1.2 A 200°C: ≤ 1 A
バルブの開閉位置表示   機械的な目視位置表示付き

1) サイクル回数低減で1 bar。

2) サイクル回数低減。

標準製品の指定

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カスタマイズ済みソリューション

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