汚染された真空プロセスでも信頼できる隔離

保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 17.2は、ガスの流れに副生成物が多く含まれる真空プロセスにおいて、信頼性の高い隔離ができるように設計されています。
このゲートバルブには、バルブ本体内部や機構への堆積を防ぐため、ゲートバルブが「開」位置にあるときに適所にスライドする保護リングを装備。これにより、過酷な環境下でもバルブの耐久性が高まって動作寿命が延びます。

高真空ゲートバルブSERIES 17.2にはゲートシール部の摩擦を排除し、確実な密閉性を実現するために開発された特殊な技術、VATLOCKテクノロジーを採用。VATLOCK機構はバルブの閉終了位置で機械的にロックする仕組みで、バルブの故障も防ぎます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある高真空ゲートバルブSERIES 17.2は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。今ではこのバルブが、汚染されたプロセスの真空隔離においてDN 63~320mm(2.5"~12")の標準となっています。SERIES 17.2は、信頼性の高さが求められる高真空ゲートバルブとしてそのすべての要求を満たす、潤滑剤不要の頑丈な設計。

高真空ゲートバルブSERIES 17.2には各種アクチュエータや取り付け用フランジのオプションも多彩に取り揃えており、どんな真空システムにも簡単に統合可能。特殊オプションも幅広く、粗引き用ポートや排気用、ゲージ用ポートのほかに、シーリング材も用途に応じて自由に選択でき、お客様の用途にぴったりと合わせることができます。さらに、限られた設置スペースにもぴったりと合うように、アクチュエータの取り付け位置を様々に指定できるというメリットもあります。


保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 17.2には、ハンドホイールまたはレバーによる手動式のほかに、圧空作動式や複動式もあり、電磁弁は内蔵式または外部取り付けからお選びいただけます。電磁弁の標準電圧は24 VDCですが、それ以外もご要望に応じてお選びいただけます。

接続用フランジの標準オプションはISO-F、CF-F、ASA-LPおよびJISです。お客様指定のフランジも、水冷機構あり/なしどちらでも対応可能です。


保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 17.2の主な特徴

特徴:

  • 汚染されたプロセスで使用するための保護リング
  • フェイルセーフ設計のVATLOCKテクノロジー
  • 潤滑剤不要
  • 頑丈なステンレス鋼ボディ
  • 簡単メンテナンス

メリット:

  • 汚染環境でも信頼性の高いパフォーマンス
  • 長寿命
  • 長期間メンテナンス不要
  • 低コスト
技術データ
サイズ   DN 63 (2½’’)、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8")
アクチュエータ 圧空作動式 複動式
  手動式 ハンドホイールまたはレバーを使用
ボディ素材   ステンレス鋼
フィードスルー   ロータリーフィードスルー
標準フランジ   ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS
漏れ率 バルブ本体 < 1 × 10-9 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1
圧力範囲   1 × 10-8 mbar~2 bar (abs)
差圧 ゲート部 ≤ 2 bar
  開動作時 ≤ 30 mbar
第1回サービスまでのサイクル数   100 000
許容温度 バルブ本体 ≤ 150 °C
  圧空アクチュエータ ≤ 50 °C
  手動アクチュエータ ≤ 80 °C
  電磁弁 ≤ 50 °C
  位置インジケーター ≤ 80 °C
加熱および冷却速度   ≤ 50 °C h-1
材料 バルブ本体、フランジ AISI 304 (1.4301)
  機構 AISI 301 (1.4310)、AISI 304 (1.4301)
AISI 316L (1.4404)、AISI 420 (1.4034)
シール ボンネット、ゲート FKM (Viton®)
取り付け位置   自由
電磁弁   24 VDC, 2.5 W(ご要望による)
位置インジケーター:接触評価 電圧 ≤ 250 VAC ≤ 50 VDC
  電流 ≤ 5 A ≤ 3 A
バルブの開閉位置表示   機械的な目視位置表示付き

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
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