サブファブシステム
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります...
詳細情報ガスの流れに副生成物が多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。WEDGE方式設計高真空ゲートバルブSERIES 09.1で、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計により、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。
高真空ゲートバルブSERIES 09.1は、最大1 barの差圧で、完全に機能します。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるWEDGE方式設計高真空ゲートバルブSERIES 09.1は、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。特にサブファブ応用では、真空ポンプ隔離の標準ソリューションになっています。幅広い設計のオプションにより、真空ゲートバルブをあらゆる応用に簡単に統合できます。
WEDGE方式設計高真空ゲートバルブSERIES 09.1には、手動バージョンおよび空気圧があります。制御バルブの標準電圧は、24VDCです。フランジ接続の場合、ISO-KF、ISO-F、CF-F、ASA-LP、JISに加えて、顧客固有フランジが可能です。標準のガスケット材はFKMを使用していますが、それ以外の素材の使用もご要望にお応えしす。また、ソフトポンプ機能の統合や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。
特徴:
メリット:
サイズ | DN 50 (2")、DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8") | ||
---|---|---|---|
アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式 | |
手動式 | クランクハンドル付き | ||
ボディ素材 | ステンレス鋼 | ||
フィードスルー | ベローズ | ||
標準フランジ | ISO-KF、ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS | ||
漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
バルブシート | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs) | ||
差圧 | ゲート部 | ≤ 1.2 bar | |
開動作時 | ≤ 1 bar | ||
第1回サービスまでのサイクル数 | 5000 | ||
許容温度 | バルブ本体 | ≤ 180 °C | |
アクチュエータ | ≤ 100 °C | ||
電磁弁 | ≤ 70 °C | ||
位置インジケーター | ≤ 80 °C | ||
材料 | バルブ本体、ゲート | AISI 304 (1.4301) | |
ベローズ | AISI 633 (AM350) | ||
シール | ボンネット、ゲート | FKM (Viton®) | |
取り付け位置 | 自由 | ||
電磁弁 | 24 VAC/DC、1 W | ||
位置インジケーター:接触評価 |
電圧 |
24 VAC/DC |