1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs)

09.1 新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

ガスの流れに副生成物が多く含まれる場合の隔離用途

製品の指定

厳しい条件下でも信頼性の高いオペレーション

ガスの流れに副生成物が多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。WEDGE方式設計高真空ゲートバルブSERIES 09.1で、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計により、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。

高真空ゲートバルブSERIES 09.1は、最大1 barの差圧で、完全に機能します。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるWEDGE方式設計高真空ゲートバルブSERIES 09.1は、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。特にサブファブ応用では、真空ポンプ隔離の標準ソリューションになっています。幅広い設計のオプションにより、真空ゲートバルブをあらゆる応用に簡単に統合できます。

WEDGE方式設計高真空ゲートバルブSERIES 09.1には、手動バージョンおよび空気圧があります。制御バルブの標準電圧は、24VDCです。フランジ接続の場合、ISO-KF、ISO-F、CF-F、ASA-LP、JISに加えて、顧客固有フランジが可能です。標準のガスケット材はFKMを使用していますが、それ以外の素材の使用もご要望にお応えしす。また、ソフトポンプ機能の統合や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。

新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブSERIES 09.1の主な特徴

特徴：

くさび形設計によるセルフクリーニング機能
最大1 barの差圧で可能なバルブ開放
拡張設計バージョン

メリット：

優れた信頼性
長いメンテナンスサイクル
低い稼働コスト

技術データ

サイズ		DN 50 (2")、DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8")
アクチュエータ	圧空作動式	複動式
	手動式	クランクハンドル付き
ボディ素材		ステンレス鋼
フィードスルー		ベローズ
標準フランジ		ISO-KF、ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS
漏れ率	バルブ本体	< 1 × 10^-9 mbar ls^-¹
	バルブシート	< 1 × 10^-7 mbar ls^-¹
圧力範囲		1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs)
差圧	ゲート部	≤ 1.2 bar
	開動作時	≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数		5000
許容温度	バルブ本体	≤ 180 °C
	アクチュエータ	≤ 100 °C
	電磁弁	≤ 70 °C
	位置インジケーター	≤ 80 °C
材料	バルブ本体、ゲート	AISI 304 (1.4301)
	ベローズ	AISI 633 (AM350)
シール	ボンネット、ゲート	FKM (Viton^®)
取り付け位置		自由
電磁弁		24 VAC/DC、1 W
位置インジケーター：接触評価	電圧電流パワー	24 VAC/DC ≤ 0.5 A 最大10 W