厳しい条件下でも信頼性の高いオペレーション

ガスの流れに副生成物が多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。09.1 WEDGE方式設計高真空ゲートバルブで、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計により、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。

09.1 高真空ゲートバルブは、最大1 barの差圧で、完全に機能します。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある09.1 WEDGE方式設計高真空ゲートバルブは、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。特にサブファブ応用では、真空ポンプ隔離の標準ソリューションになっています。幅広い設計のオプションにより、真空ゲートバルブをあらゆる応用に簡単に統合できます。

09.1 新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

09.1 新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

09.1 ウェッジ式高真空ゲートバルブには、手動式および空気圧式があります。制御バルブの標準電圧は、 24 VDCです。フランジ接続は、ISO-KF、 ISO-F、CF-F、ASA-LP、JISのほか、お客様固有のフランジにも対応しています。標準のOリング材質はFKMですが、ご要望に応じてそれ以外の材質も対応可能です。また、オプションとして、ソフトポンプ機能の搭載や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。


新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ09.1の主な特徴

特徴:

  • くさび形設計によるセルフクリーニング機能
  • 最大1 barの差圧で可能なバルブ開放
  • 幅広いアプリケーションに対応する柔軟な構成オプション

メリット:

  • 優れた信頼性
  • 長いメンテナンスサイクル
  • 低い稼働コスト

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ   DN 50 (2")、DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8")
アクチュエータ 圧空作動式 複動式
  手動式 クランクハンドル付き
バルブボディの材質   ステンレス
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ   ISO-KF、ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS
リークレート バルブボディ < 1 × 10-9 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-7 mbar ls-1
使用圧力範囲   1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
ゲートにかけ得る許容最大差圧   ≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧   ≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数   5000
許容温度 バルブボディ ≤ 180 °C
  手動/圧空アクチュエータ ≤ 100 °C
  電磁弁 ≤ 50 °C
  リミットスイッチ ≤ 70 °C
材料 バルブ本体、プレートゲート AISI 304 (1.4301)
  ベローズ AISI 633 (AM350)
シール ボンネット、ゲート FKM (フッ素ゴム)
オプション:FFKM
取付方向   自由
電磁弁   24 VAC/DC、1 W
リミットスイッチ:メカニカルスイッチ

電圧
電流
パワー

24 VAC/DC
≤ 0.5 A
最大10 W

Scroll to:
Scroll to:
標準製品の指定

見積書を入手したり、特定のCADデータをダウンロードしたりするための要件を指定するには、製品の詳細を参照してください。

カスタマイズ済みソリューション

カスタマイズしたソリューションを指定します。

仕様を収集するのに役立つスペックシートをダウンロードしてください。 すでに仕様書をお持ちの場合は、アップロードして送信してください。 見積もりをお送りします。

業種別アプリケーションの選択

すべてのアプリケーションの探索