厳しい条件下でも信頼性の高いオペレーション

ガスの流れに副生成物が多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。WEDGE方式設計高真空ゲートバルブSERIES 09.1で、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計により、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。

高真空ゲートバルブSERIES 09.1は、最大1 barの差圧で、完全に機能します。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるWEDGE方式設計高真空ゲートバルブSERIES 09.1は、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。特にサブファブ応用では、真空ポンプ隔離の標準ソリューションになっています。幅広い設計のオプションにより、真空ゲートバルブをあらゆる応用に簡単に統合できます。


WEDGE方式設計高真空ゲートバルブSERIES 09.1には、手動バージョンおよび空気圧があります。制御バルブの標準電圧は、24VDCです。フランジ接続の場合、ISO-KF、ISO-F、CF-F、ASA-LP、JISに加えて、顧客固有フランジが可能です。標準のガスケット材はFKMを使用していますが、それ以外の素材の使用もご要望にお応えしす。また、ソフトポンプ機能の統合や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。


新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブSERIES 09.1の主な特徴

特徴:

  • くさび形設計によるセルフクリーニング機能
  • 最大1 barの差圧で可能なバルブ開放
  • 拡張設計バージョン

メリット:

  • 優れた信頼性
  • 長いメンテナンスサイクル
  • 低い稼働コスト

技術データ
サイズ   DN 50 (2")、DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8")
アクチュエータ 圧空作動式 複動式
  手動式 クランクハンドル付き
ボディ素材   ステンレス鋼
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ   ISO-KF、ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS
漏れ率 バルブ本体 < 1 × 10-9 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-7 mbar ls-1
圧力範囲   1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
差圧 ゲート部 ≤ 1.2 bar
  開動作時 ≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数   5000
許容温度 バルブ本体 ≤ 180 °C
  アクチュエータ ≤ 100 °C
  電磁弁 ≤ 70 °C
  位置インジケーター ≤ 80 °C
材料 バルブ本体、ゲート AISI 304 (1.4301)
  ベローズ AISI 633 (AM350)
シール ボンネット、ゲート FKM (Viton®)
取り付け位置   自由
電磁弁   24 VAC/DC、1 W

位置インジケーター:接触評価

電圧
電流
パワー

24 VAC/DC
≤ 0.5 A
最大10 W

標準製品の指定

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