あらゆる条件下で信頼性の高い遮断を実現

HV振子式遮断バルブSERIES 16.2は、パーティクル数とパーティクルの再浮遊を抑えながら、信頼性の高い遮断性能を発揮します。この優れたパーティクル性能は、非常に滑らかな開閉動作によって実現されます。

SERIES 16.2は、エバポレーターやスパッタリング用途など、過酷なプロセスでの遮断要件に最適です。SERIES 16.2には、3ポジション圧空作動式の単動シリンダースプリングによる閉動作、または標準圧空作動式の単動シリンダースプリングによる閉動作があります。

特別なスプリットボディ設計により、配管の接続やプロセスチャンバーの接続を分解せずに、メンテナンスを行うことができます。またスリムなデザインにより、プロセスチャンバーに直接取り付けることができるため、チャンバーとバルブ、ポンプの接続に通常必要とされる体積を削減できます。

堅牢な設計と多様な設計オプションにより、SERIES 16.2は様々な真空プロセスに容易に組み込むことができます。

SERIES 16.2はすでに様々なプロセス条件下で世界中の何百ものバッチ式およびインライン式生産システムに設置されており、あらゆる面でその優れた性能が実証されています。

圧空作動式
3ポジション圧空作動式

HV振子式遮断バルブは、アルミニウム製で、ISO-FおよびJISの標準フランジコネクタを備えています。お客様固有のフランジを組み込むことも可能です。さらに、オプションで粗引き(バイパス)、排気、ゲージ用ポートもご用意しています。またSERIES 16.2はターボポンプの遮断に使用されることが多いため、破片シールドグリッドもご用意しています。


HV振子式遮断バルブ SERIES 16.2の主な特徴

特徴:

  • 大容量の真空流に対応した信頼性の高い遮断
  • 低衝撃、パーティクルの再浮遊を防止
  • 不活性ガスプロセス - 残留ガス(RGA)が非常に少ない

メリット:

  • 高い稼働率
  • 低運用コスト
  • プロセス要件に合わせて調整可能
  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ   DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"),
DN 350 (14"), DN 400 (16"), DN 500 (20")
アクチュエータ 圧空作動式 単動シリンダースプリングによる閉動作(NC)
  3ポジション圧空作動式 単動シリンダースプリングによる閉動作(NC)
ボディ素材   アルミニウム
フィードスルー   ロータリーフィードスルー
標準フランジ   ISO-F、ASA-LP、JIS
漏れ率 バルブ本体、バルブシート < 1 × 10-8 mbar ls-1
圧力範囲   1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧   ≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧 DN 200
DN 250 - 500
≤ 10 mbar
≤ 5 mbar
第1回サービスまでのサイクル数   200 000
許容温度 バルブ本体
アクチュエータ
電磁弁
位置インジケーター
≤ 120 °C
≤ 80 °C
≤ 50 °C
≤ 80 °C
加熱および冷却速度   ≤ 30 °C h-1
材料 バルブ本体、プレート、シールリング
DN 200-400
DN 500
フィードスルー (メディアとの接触部)

EN AW-5083 (3.3547)、EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42100 (3.2371)
AISI 303 (1.4305)、AISI 304 (1.4301)
シール ボンネット、プレート、ダイナミック、フィードスルー FKM (Viton®)
取り付け位置   自由
電磁弁   24 V DC、5.4 W (ご要望による)
位置インジケーター 電圧
電流
≤ 50 V AC/DC
≤ 1.2 A
バルブの開閉位置表示   機械的な目視位置表示付き
標準製品の指定

見積書を入手したり、特定のCADデータをダウンロードしたりするための要件を指定するには、製品の詳細を参照してください。

カスタマイズ済みソリューション

カスタマイズしたソリューションを指定します。

仕様を収集するのに役立つスペックシートをダウンロードしてください。 すでに仕様書をお持ちの場合は、アップロードして送信してください。 見積もりをお送りします。