生産性を最大化

HV振子式コントロールバルブSERIES 65.3は下流の圧力制御と締切りに新しい基準をもたらします。このバルブは半導体製造装置やディスプレイ製造装置向けに開発されたもので、広いコンダクタンス範囲で最高レベルの制御性を実現。位置制御機能を内蔵した電動モーターによって、SERIES 65.3は機能を向上させます。

ドライブコントローラは、32ビットの情報処理能力の向上により、新たなレベルの制御性を実現。これにより、振子式ゲートの各位置を非常に素早く、細かく、正確に制御できるので、とても短い反応時間で非常に正確な下流圧力制御が可能になります。プリセットされたバルブの運動シーケンスは、個々のプロセスパラメータや変化するプロセスパラメータに合わせて速度やコースを変更できます。

HV振子式コントロールバルブSERIES 65.3はパーティクル放出も防ぎます。ゲートの閉動作が減衰されるように改良されており、従来のバルブによく見られる衝撃や振動を回避します。SERIES 65.3の閉動作は、開閉がほとんど感知できないほどスムーズ。極めて精密なゲートの機械的誘導により、往復運動におけるガス流量制御が非接触で行われ、シーリング時に均一な気密性が確保されます。

プロセス条件を問わず、すでに何百もの利用実績のあるHV振子式コントロールバルブ SERIES 65.3は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性とパフォーマンスを証明してきました。既存システムの更新やSERIES 65.3の後継機としても最適化されています。

 


制御位置

見た目上、閉じた
状態
リークタイトに閉じ
た状態

HV振子式コントロールバルブ SERIES 65.3のサイズはDN 100 ~ 350 mm(4"~14")で材質はアルミニウムです。表面処理なし、または硬質アルマイト加工も可能です。ISO-FおよびJISに準拠した標準フランジ接続を備えていますが、カスタマイズしたフランジも組み込むことができ、直接取り付けオプションもお選びいただけます。標準のシーリング材はFKMを使用していますが、それ以外の素材の使用もご要望にお応えします。

コントローラ用に特別な制御アルゴリズム(適応型制御、fix PID、上流制御、ソフト排気制御)をお選びいただけます。またコントローラには、PCからのアクセスやプロセス制御ユニット(PCU)への接続を容易にする様々な標準ポートを装備。専用のCPA(制御性能分析)ソフトウェアでSERIES 65.3を簡単に較正したり、メンテナンス計画を簡略化したりすることもできます。


HV振子式コントロールバルブ SERIES 65.3の主な特徴

特徴:

  • 高速で正確な圧力制御
  • ショックフリー動作:パーティクル発生無し
  • プロセスの安定性向上:流量と圧力をすべて制御
  • CPA(制御性能分析)を搭載した32ビット圧力調整器(IC2)を内蔵
  • 「プラグアンドプレイ」の後付け:切り離しや位置合わせが不要

メリット:

  • 抜群の信頼性、精度、速度
  • 長いメンテナンスサイクル
  • 低い稼働コスト

技術データ
サイズ   DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8")、
DN 250 (10")、DN 320 (12")、DN 350 (14")
アクチュエータ   コントローラ搭載型ステッピングモーター
ボディ素材   アルミニウム:表面処理なしまたは硬質アルマイト加工
フィードスルー アクチュエータ
シールリング
ロータリーフィードスルー
シャフトフィードスルー
標準フランジ   ISO-F、JIS
漏れ率(バルブ本体) 表面処理なしアルミニウム
硬質アルマイト加工アルミニウム
< 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-5 mbar ls-1
漏れ率(バルブシート) 表面処理なしアルミニウム
硬質アルマイト加工アルミニウム
< 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-4 mbar ls-1
圧力範囲 表面処理なしアルミニウム
硬質アルマイト加工アルミニウム
1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
1 × 10-6 mbar~1.2 bar (abs)
第1回サービスまでのサイクル数 圧力制御
開閉動作
100万
200 000
許容温度 バルブ本体 ≤ 120 °C 
  コントローラ 最大50 °C (推奨≤35 °C)
材料 バルブ本体、プレート EN AW-6061 (3.3211)
  シールリング EN AW-6061 (3.3211)、AISI 305 (1.4303)、
AISI 420C (1.3541)、AISI 631 (1.4568)
  その他のパーツ AISI 316L (1.4404, 1.4435)、AISI 440 (1.4122)、
AISI 301 (1.4310)、AISI 316 Ti (1.4571)、AISI 304 (1.4301)
シール ボンネット、プレート、 ボディ軸シール FKM (フッ素ゴム)
取り付け位置   自由
標準製品の指定

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カスタマイズ済みソリューション

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