品質と生産性を最大化

SERIES 67.0は半導体製造工程における腐食性エッチングおよびクリーニングプロセスのために設計され、下流制御、遮断弁としてご利用いただけます。

プロセスチャンバー内のガスの流れは、処理速度と品質にダイレクトに影響します。プロセス設計においては従来ガスの流入の方に重点が置かれてきましたが、下流もまたプロセス最適化には重要な要素です。

一般的に、ウェーハを取り巻くガスの流れが均等であるほど、ウェーハに対するガスの反応も均一になります。

これはガスがチャンバー内に流入する段階はもちろん、ガスがチャンバーから排出される際にも言えることです。バルブの動作中や、排気口の位置の違いによりガスの流れが変動してしまうとガスが均等に行きわたらず、排気に悪影響を及ぼしたり、流速が不安定になったりします。どちらも、ウェーハがガスにさらされる時間に違いが発生したりアンバランスな対流が生まれたりすることで、ウェーハに悪影響を及ぼしてしまいます。またプロセスガス消費量の増加や処理の長時間化につながる可能性もあります。

これを解決するには、プロセスサイクル全体を通してガスの流れを最適化することが重要です。均等排気バルブSERIES 67.0はこのアプローチの新スタンダードです。

気流を最適化するバルブにより、プロセスチャンバーもこれまでと違った設計が可能になります。特殊な開閉メカニズムにより、開閉サイクルの最初から最後までガスの流れは均等になり、これまでにない気流制御、圧力制御が可能になります。これを実現するのが「ソフトタッチ」の締切り機能です。SERIES 67.0の動作は非常にソフトで、バルブが閉まる際の衝撃がありません。衝撃を抑えることで、パーティクル発生を防止できます。

SERIES 67.0のもう一つの特徴が、そのサイズにあります。他のソリューションに比べて必要な設置面積が小さくなっています。最適な気流を生むシャワーヘッドとチャンバー設計と組み合わせれば、SERIES 67.0は全く新しいレベルのプロセス制御を可能にするでしょう。歩留まり向上、サイクルタイムの高速化の可能性が広がり、生産性向上に繋げることができるはずです。


均等排気バルブ SERIES 67.0はDN 250–450 mm(10インチ–18インチ)のサイズで取り揃えております。ボディの材料は表面処理なしまたは硬質アルマイト加工アルミニウムです。ポンプ側にはISO-FまたはJISの標準フランジを搭載。チャンバーフランジは独自仕様です。フランジ、プレート、およびアクチュエータはエラストマーで密閉し、軸シールにはベローズを採用。プレートヒーターはオプションです。

SERIES 67.0はシンクロする2つのリニアドライブで作動し、クローズドループ式のステッピングモーターを内蔵。新しい32ビットコントローラは各種標準ポートを介してPCやPCUと接続可能です。特別なCPA(制御性能分析)ソフトウェアでSERIES 67.0の詳細なモニタリング、サイクル動作の調整が可能になります。

SERIES 67.0の第1回サービスまでのコントロールサイクルは200万回、締切りの場合は20万回です。シール部材の交換などのメンテナンスも素早く簡単に行えます。


均等排気バルブ SERIES 67.0の主な特徴

特徴:

  • 圧力制御および締切り
  • ガスの流れを最適化する設計
  • オプションでプレートヒーター搭載可能
  • ベローズ軸シール

メリット:

  • 開閉サイクル全体で均等なガスの流れを実現
  • ショックフリーな動作でパーティクルの発生を防止
  • 抜群の圧力制御性能
  • 簡単メンテナンス
  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ   DN 250 (10")、DN 320 (12")、DN 350 (14")、
DN 400 (16")、DN 450 (18")
ボディ素材    
    表面処理なしまたは硬質アルマイト加工アルミニ ウム
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ ポンプ側
チャンバー側
ISO-F、JIS
独自仕様
漏れ率(バルブ本体) 表面処理なしアルミニウム
硬質アルマイト加工アルミニウム
< 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-5 mbar ls-1
漏れ率(バルブシート) 表面処理なしアルミニウム
硬質アルマイト加工アルミニウム
< 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-4 mbar ls-1
圧力範囲 表面処理なしアルミニウム
硬質アルマイト加工アルミニウム
1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
1 × 10-6 mbar~1.2 bar (abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧 チャンバー側 → プレート
ポンプ側 → プレート
1200 mbar (バルブ閉)
10 mbar
第1回サービスまでのサイクル数 圧力制御
締切り
200万
200 000
許容温度 バルブ本体 ≤ 120 °C 
  アクチュエータ:周囲温度 最大50 °C (推奨≤35 °C)
材料 フランジ、プレート EN AW-6082 (3.2315)またはAW-6061 (3.3211)
  アクチュエータシャフト AISI 316L (1.4404)
  ベローズ AISI 633 (AM 350)
シール フランジ、プレート、アクチュエータ FKM (Viton®など)
取り付け位置   アクチュエータ下方向
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