抜群の高コンダクタンススペクトラム

HV振子式コントロールバルブ SERIES 65.5は圧倒的に高い制御可能コンダクタンススペクトラムを提供します。またスムーズな開閉動作により、パーティクル数が並外れて少なく、パーティクル発生レベルが低いことも大きな特徴です。HV振子式コントロールバルブ SERIES 65.5は圧倒的に高い制御可能コンダクタンススペクトラムを提供します。またスムーズな開閉動作により、パーティクル数が並外れて少なく、パーティクル発生レベルが低いことも大きな特徴です。

このバルブは、初期の制御可能コンダクタンスを抑えながら、高度に制御可能なコンダクタンススペクトラムが必要とされる、半導体製造プロセスにおける腐食性エッチングやクリーニング用途などの過酷なプロセスのために特別に設計されました。

SERIES 65.5のサイズはDN250 mm(10")で、わずか2ls-1の最小コンダクタンスまで制御します。32ビットアクチュエータコントローラの情報処理能力により、コンダクタンスの増加を非常に細かく制御できます。またセンサーや制御コマンドの処理速度が、同等の16ビットコントローラよりも高速であることから、アクチュエーションも高速化されています。コントローラには、PCからのアクセスやプロセス制御ユニットへの接続を容易にする様々な標準ポートコネクタを装備しています。

振子式ゲート機構は、副生成物が出ないようにとても堅牢に設計されています。また、シールの摩耗を減らし、パーティクルの発生や活性化を避けるために、開閉動作は分割されています。最初のコンダクタンスは、ゲートシートから離れる垂直運動によって達成され、その後のコンダクタンスの増加は、振子式ゲートの水平運動によって達成されます。ゲートの運動を細かく制御できるので、プリセットされた動作シーケンスはプロセス要件に合わせてとても簡単に調整できます。さらにゲートをリークタイトに閉じるために、特許取得済みの特殊な圧力バーがゲートシートにゲートを押し付けます。これにより、ゲートの全領域で均一な密閉圧力が得られます。

コンパクトな設計と直接取り付けのオプションのほか、様々な設計オプションが用意されているSERIES 65.5は、多様な真空プロセスに簡単に統合できます。


HV振子式コントロールバルブSERIES 65.5は、ISO-FとJISに準拠した標準フランジコネクタを備えた表面処理なしまたは硬質アルマイド加工アルミニウムです。お客様指定のフランジや、バルブ加熱温度120 °Cまで対応のヒーターにも対応可能です。

1. ゲート
2. アクチュエータシャフト
3. 2軸アクチュエータ
4. アクチュエータフィードスルーシール
5. ゲートシール


HV振子式コントロールバルブ SERIES 65.5の主な特徴

特徴:

  • 過酷なプロセス環境でも信頼性の高い隔離
  • 低衝撃動作、低パーティクル活性化
  • プロセス不活性 - 非常に低い残留ガス放出(RGA)
  • 高速で調整可能な操作
  • オンボード圧力コントローラ
  • オプションのセンサー電源を使用すれば、必要な電源は1つだけ

メリット:

  • 並外れた圧力制御性能
  • 実質的にパーティクルフリーの高速動作
  • プロセス要件に合わせて調整可能

技術データ
サイズ   DN 250 (10")
アクチュエータ   サーボドライブを備えた一体型圧力コントローラ
ボディ素材   表面処理なしまたは硬質アルマイド加工アル ミニウム
フィードスルー   ロータリーフィードスルー
標準フランジ  

ISO-F、JIS

漏れ率(バルブ本体) 表面処理なしアルミニウム
硬質アルマイド加工アル ミニウム
< 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-5 mbar ls-1
漏れ率(バルブシート) 表面処理なしアルミニウム
硬質アルマイド加工アル ミニウム
< 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-4 mbar ls-1
圧力範囲 表面処理なしアルミニウム
硬質アルマイド加工アルミニウム
1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
1 × 10-6 mbar~1.2 bar (abs)
第1回サービスまでのサイクル数 圧力制御
閉動作/開動作
200万
50 000
許容温度 バルブ本体 ≤ 120 °C 
  コントローラ 最大50 °C (推奨≤ 35 °C)
材料 バルブ本体、プレート EN AW-6061 (3.2311) T651
  その他のパーツ AISI 316L (1.4404、1.4435)
  プレート部の接続スクリュー SST A4-80、Ni-PTFE、コーティング
シール ボンネット、プレート、ボディ、フィードスルー FKM (Viton®)
取り付け位置   自由
カスタマイズ済みソリューション

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