65.5 HV振子式コントロールバルブ

抜群の高コンダクタンススペクトラム

HV振子式コントロールバルブ SERIES 65.5は圧倒的に高い制御可能コンダクタンススペクトラムを提供します。またスムーズな開閉動作により、パーティクル数が並外れて少なく、パーティクル発生レベルが低いことも大きな特徴です。HV振子式コントロールバルブ SERIES 65.5は圧倒的に高い制御可能コンダクタンススペクトラムを提供します。またスムーズな開閉動作により、パーティクル数が並外れて少なく、パーティクル発生レベルが低いことも大きな特徴です。

このバルブは、初期の制御可能コンダクタンスを抑えながら、高度に制御可能なコンダクタンススペクトラムが必要とされる、半導体製造プロセスにおける腐食性エッチングやクリーニング用途などの過酷なプロセスのために特別に設計されました。

SERIES 65.5のサイズはDN250 mm（10"）で、わずか2ls^-1の最小コンダクタンスまで制御します。32ビットアクチュエータコントローラの情報処理能力により、コンダクタンスの増加を非常に細かく制御できます。またセンサーや制御コマンドの処理速度が、同等の16ビットコントローラよりも高速であることから、アクチュエーションも高速化されています。コントローラには、PCからのアクセスやプロセス制御ユニットへの接続を容易にする様々な標準ポートコネクタを装備しています。

振子式ゲート機構は、副生成物が出ないようにとても堅牢に設計されています。また、シールの摩耗を減らし、パーティクルの発生や活性化を避けるために、開閉動作は分割されています。最初のコンダクタンスは、ゲートシートから離れる垂直運動によって達成され、その後のコンダクタンスの増加は、振子式ゲートの水平運動によって達成されます。ゲートの運動を細かく制御できるので、プリセットされた動作シーケンスはプロセス要件に合わせてとても簡単に調整できます。さらにゲートをリークタイトに閉じるために、特許取得済みの特殊な圧力バーがゲートシートにゲートを押し付けます。これにより、ゲートの全領域で均一な密閉圧力が得られます。

コンパクトな設計と直接取り付けのオプションのほか、様々な設計オプションが用意されているSERIES 65.5は、多様な真空プロセスに簡単に統合できます。