高温・高圧プロセスでも信頼性の高い圧力制御と締め切り

アングルコントロールバルブ SERIES 62.0は、ALDやCVDなどの高圧・高温環境下での真空プロセスに理想的なバルブです。SERIES 62.0の最高動作温度は200 °Cで、並外れて精密な圧力制御性能を発揮。電動リニア駆動アクチュエータを採用することで、とても滑らかで繊細な制御による開閉サイクルを可能にし、最小のコンダクタンスを実現しています。またソフト排気制御機能を搭載しているので、従来のほとんどの圧空駆動アクチュエータで起こる圧力ピークを回避できます。

オンボードコントローラ(DN80とDN100では外部コントローラ)には、サービスポートの接続やPCUに接続するための各種インターフェースが用意されています。また、バルブコントローラの主要な機能として制御性能分析(CPA)アプリがあり、様々なプロセス条件でのバルブのパフォーマンスを経時的に分析できます。

SERIES 62.0には、停電時にバルブの気密性を確保するために、「閉」位置でのロック機能もあります。

プロセス条件を問わず、すでに何百もの利用実績のあるアングルコントロールバルブSERIES 62.0は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性とパフォーマンスを証明してきました。制御性とバルブパフォーマンスのモニタリングの点において、このバルブはアングルコントロールバルブのベンチマークとなっています。


アングルコントロールバルブSERIES 62.0のサイズはDN16~100mm(5/8"~4")からお選びいただけます。バルブボディの材質はステンレス鋼で、オプションでニッケルコーティングも可能です。DN16~50mm(5/8"~2")サイズのアルミニウムもお選びいただけます。ボンネットとプレートはFKMまたはFFKMでシールされており、フィードスルーのシールにはベローズを採用しています。

暖房ジャケットはオプションで、DN 80とDN100の場合は特別なベローズ暖房を追加オプションとしてお選びいただけます。

コントローラのインターフェースはRS232、RS485、Logic(アナログ/デジタル)、DeviceNet®、Profibus、EtherCATです。


HVアングルコントロールバルブ SERIES 62.0の主な特徴

特徴:

  • 高温での動作
  • 圧力ピークのない、非常に繊細な圧力制御
  • 電動リニア駆動アクチュエータ
  • パーティクル発生を抑える一体型ソフトスタート
  • 制御性能分析(CPA)アプリ

メリット:

  • 抜群の圧力制御性
  • 要求の厳しい条件下でも信頼性の高いパフォーマンス
  • システム統合が簡単
  • 簡単メンテナンス
  • 低コスト
技術データ
    DN 40 (1 1/2"), DN 50 (2") DN 100 (4")
アクチュエータ   クローズドループ制御式ステッピングモーターによるリニア駆動
ボディ素材   アルミニウム、ステンレス鋼 ステンレス鋼
フィードスルー   ベローズ ベローズ
標準フランジ   ISO-KF ISO-K
漏れ率 バルブ本体 < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1
圧力範囲   < 1 × 10-8 mbar~1.4 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar~1.1 bar (abs)
差圧 開動作時のプレートにかけ得る値 ≤ 1 bar ≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数 絞り
締切り
200万
100万
100万
200 000
許容温度 標準(バルブ/ベローズ)
高温オプション(バルブ/ベローズ)
コントローラ/アクチュエータ周囲温度
≤ 80 °C
≤ 200°C
最大50 °C (推奨≤ 35 °C)
≤ 80°C
≤ 200°C
≤ 50 °C (推奨≤ 35 °C)
材料 バルブ本体, プレート

ベローズ
アルミニウムEN AW-6082 (3.2315)、
AISI 316L (1.4404または1.4435)
AISI 316Ti (1.4571)
ステンレス鋼316L (1.4404または1.4435)
AISI 316Ti (1.4571)
シール ボンネット、プレート FKM (Viton®) FKM (Viton®)
取り付け位置   自由 自由

 

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
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