太陽電池薄膜の蒸着
ソーラーパネルメーカーは、最新の太陽電池の性能を構成する超薄膜を製造するために、さまざまなコーティングプロセス（CVD、ALD、MBE、PVDなど）を使用していま...
詳細情報
ウェブ/金属箔保護による優れた密閉性能
SERIES 02.7ロールツーロール角型ゲートバルブMONOVATは、ウェブ/金属箔の連続コーティングプロセスの特別な要求を満たすために開発されました。連続コーティングプロセスでウェブ/金属箔バンドを保護しながら、プロセスチャンバーの確実なシーリングを実現するために、SERIES 02.7では最新式のロールツーロールシーリングシステムを採用しています。このシーリングシステムは、VATの実績あるMONOVATシーリング技術に基づいたもので、ロールツーロールのダブルシーリング設計により、効果的な密閉とウェブ/金属箔を傷つけないことを完璧に両立する密閉圧力を実現しています。両シールの間にある中間ポンプステージが、密閉性能を高めています。
高サイクル生産システム向けに設計されているSERIES 02.7は、優れた高速動作（1.5秒以下）と、標準的なバルブのパフォーマンスに影響を及ぼすプロセス由来の堆積物に対する耐性を兼ね備えています。
特殊なMONOVATシーリング技術を採用したSERIES 02.7では、衝撃のないゲートの開閉動作が実現されており、パーティクル発生を最小限に抑えるとともに、シールの摩耗を低減します。さらにダブルシーリングシステムでは、シール機構も非常にコンパクトに設計されているので、バルブ全体が非常に小さく、取り付け寸法も小さくなっています。 SERIES 02.7はすでに、世界中の数百のウェブ/金属箔生産システムにおいて様々なプロセス条件下で使用されており、あらゆる面で優れたパフォーマンスを発揮しています。
SERIES 02.7ロールツーロール角型ゲートバルブMONOVATは他のVAT角型ゲートバルブソリューションと同様に、お客様の仕様に合わせてオーダーメイドされています。カスタマイズ要素には、インパルス電磁弁や、硬質アルマイト加工やニッケルメッキなどの特殊な表面処理、密閉型ベローズフィードスルーなどがあります。
SERIES 02.7ロールツーロール角型ゲートバルブMONOVATの主な特徴
特徴：
- ウェブ/金属箔保護機能付きの高性能ロールツーロールシーリングシステム
- コンパクトな設計と小さな取り付け寸法
- 衝撃のないゲートの動き
メリット：
- 低い運用コスト
- 高速サイクルタイム
- 高い稼働率、簡単なメンテナンス
技術データ
| サイズ | 50 × 300 mm (1.97" × 11.81")～ 50 × 1250 mm (1.97" × 49.21") |
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|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式、位置インジケーター付き | |
| ボディ素材 | アルミニウムまたはステンレス鋼 | ||
| フィードスルー | 中間排気によるシャフトフィードスルー | ||
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-5 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-5 mbar ls-1 | ||
| 差圧 | ゲート部 | ≤ 1 bar | |
| 開動作時 | ≤ 5 mbar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 10 000 | ||
| 閉時間または開時間 | ≤ 1.5 s（開口部高さが50 mmの場合） | ||
| 許容温度 | アルミニウムバルブ本体/ゲート | ≤ 120 °C | |
| ステンレス鋼バルブ本体/ゲート | ≤ 150 °C | ||
| アクチュエータ、位置インジケーター | ≤ 80 °C | ||
| バルブ本体/ゲートの許容温度差 | ≤ 25 °C | ||
| 材料 | アルミニウムバルブ本体/ゲート | EN AW-5083 (3.3547) | |
| ステンレス鋼バルブ本体/ゲート | AISI 304 (1.4301) | ||
| アクチュエータシャフト | AISI 304 (1.4301) | ||
| シール | ゲート、フランジ、フィードスルー | FKM (Viton®) | |
| 取付け方向 | アクチュエータ上または下 | ||
| 位置インジケーター | 電圧 | 10 – 30 V DC PNP（オプションでNPN） | |
| ゲートにかかるシートの引張力 | 最大0.5 N/mm（例：シートの幅300 mmで最大引張力150 N） | ||