あらゆる環境で高い信頼性

MONOVAT大型角型ゲートバルブSERIES 02.4は、特に高真空条件下での有機材料の蒸着装置に求められる特別な要求を満たすために開発されました。高サイクル生産システムのために設計されたSERIES 02.4は、優れた高速動作時間と、標準的なバルブの性能を制限するプロセス関連の堆積物に対する耐性を兼ね備えています。SERIES 02.4は、推奨される最初のサービス点検を受けるまでに、100万サイクルを途切れることなく実行できるように設計されています。

SERIES 02.4の高い稼働率と信頼性の高いパフォーマンスを保証するために、メンテナンスの必要性は最小限に抑えられています。特殊なMONOVATシーリング技術を採用したSERIES 02.4では、衝撃のないゲートの開閉動作が実現されており、パーティクル発生を最小限に抑えるとともに、シールの摩耗を低減します。さらに、シール機構も非常にコンパクトに設計されているので、バルブ全体が非常に小さく、取り付け寸法も小さくなっています。 SERIES 02.4はすでに、世界中の数百のディスプレイおよびPV生産システムにおいて様々なプロセス条件下で使用されており、あらゆる面で優れたパフォーマンスを発揮しています。


MONOVAT大型角型ゲートバルブSERIES 02.4は他のVAT角型ゲートバルブソリューションと同様に、お客様の仕様に合わせてオーダーメイドされています。カスタマイズ要素には、インパルス電磁弁や、硬質アルマイト加工やニッケルメッキなどの特殊な表面処理、標準以外のシーリング材、ゲートなどがあります。


MONOVAT大型角型ゲートバルブSERIES 02.4の主な特徴

特徴:

  • コンパクトな設計と小さな取り付け寸法
  • 衝撃のないゲートの動き
  • プロセス関連の堆積物に対する耐性

メリット:

  • 低い運用コスト
  • 高速サイクルタイム
  • 高い稼働率、簡単なメンテナンス
技術データ
サイズ   標準:50× 500 mm~150× 1600 mm (1.97" × 19.69"~5.91" × 62.99")
特別サイズはご要望にお応えします
アクチュエータ 圧空作動式 複動式
ボディ素材   アルミニウム
フィードスルー   中間排気によるシャフトフィードスルー
漏れ率 バルブ本体、バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1
ゲートにかけ得る許容最大差圧 /開方向 ≤ 1 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧   ≤ 5 mbar
第1回サービスまでのサイクル数   100万
閉時間または開時間   ≤ 1.5 s(開口部高さが100 mmの場合)
許容温度 バルブ本体、ゲート
アクチュエータ、位置インジケーター
≤ 120°C
≤ 60°C
バルブ本体/ゲートの許容温度差 小サイズ
大サイズ
≤ 40°C
≤ 25°C
材料 バルブ本体、ゲート
アクチュエータシャフト
差圧タブ
EN AW-5083 (3.3547)
AISI 304 (1.4301) 硬質クロムメッキ
AISI 304 (1.4301)
シール ゲート、フランジ、フィードスルー FKM (Viton®)
取り付け位置   アクチュエータ上、下または側面
位置インジケーター 電圧 10~30 VDC PNP(オプションでNPN)
カスタマイズ済みソリューション

カスタマイズしたソリューションを指定します。

仕様を収集するのに役立つスペックシートをダウンロードしてください。 すでに仕様書をお持ちの場合は、アップロードして送信してください。 見積もりをお送りします。

業種別アプリケーションの選択

すべてのアプリケーションの探索