あらゆる環境で高い信頼性

TWINVAT大型角型ゲートバルブ/インサートSERIES 06.1は、ディスプレイ生産システムの特別な要件を満たすために開発されました。高サイクル生産システム向けに開発されたSERIES 06.1は、実質的にパーティクルフリーの動作と、大型角型ゲートバルブの優れた高速動作(開口部高さが150 mmで2秒以下)を両立しています。SERIES 06.1は、100万回を超える寿命の間、高い稼働率と信頼性の高い動作を実現するように設計されています。

SERIES 06.1に採用されている、モジュラープラットフォームコンセプトに基づくTWINVAT技術は、主要なディスプレイ用途に完全に最適化されています。

  • PECVD/ETCH:これらの用途に対応するために、プロセスチャンバーのゲートを維持しながら、トランスファーチャンバーを真空下で生産モードに保つことができる、特別な稼働機能がSERIES 06.1のバルブには備わっています。PECVDやエッチングプロセスでは、ゲートシールのクリーニングや交換を頻繁に行う必要があるため、この機能は特に重要です。滑らかに動く複動式TWINVAT機構によって、シール面全体に均一なシール圧力が加わり、必要なシール荷重が軽減され、シールの摩耗が最小限に抑えられます。これによって、バルブの寿命までにかかるFFKMシールのコストを削減します。
  • OLED/PVDおよびロードロック:プレッシャーエレメントを大きくしたSERIES 06.1の改良バージョン(06.3バージョン)では、全差圧がかけられるようになりました。このバージョンでは、OLED用の「ウルトラクリーン」構成と、PVDおよびロードロック用途用の高速オプションが用意されています。

SERIES 06.1は、ハウジング付きの標準的な角型ゲートバルブとして、またはプロセスチャンバーに直接取り付けられるインサートバージョンとしてご利用いただけます。

SERIES 06.1はすでに、世界中の数百のディスプレイ生産システムにおいて様々なプロセス条件下で使用されており、あらゆる面で優れたパフォーマンスを発揮しています。


見た目上、閉じた状態
サービスポジション 3

TWINVAT大型角型ゲートバルブ/インサートSERIES 06.1は他のVAT角型ゲートバルブソリューションと同様に、お客様の仕様にぴったり合わせてオーダーメイドされています。プロセス制御ユニットの追加をはじめ、硬質アルマイト加工やニッケルメッキなどの特殊な表面処理、標準以外のシーリング材、バルブ本体内の圧力を検出する真空計、ベローズ保護シャフトフィードスルー、バルブとゲートのRFおよびDC接地オプション、アクチュエータの側面取り付け位置など、カスタマイズの選択肢も豊富です。


TWINVAT大型角型ゲートバルブ/インサートSERIES 06.1の主な特徴

特徴:

  • 衝撃を軽減したゲートの動き
  • ゲートシール交換時の専用バルブサービス機能
  • ゲートシールに均一な圧力がかかる

メリット:

  • パーティクルが少ない
  • メンテナンス時のダウンタイムが短い
  • 高速サイクルタイム
  • 高い稼働率
技術データ
サイズ   100 x 1000 mm~300 x 3800 mm (3.94" x 39.37"~11.81" x 149.60")
アクチュエータ 圧空作動式 複動式、位置インジケーター付き
ボディ素材   アルミニウム
フィードスルー   シャフトフィードスルー
漏れ率 バルブ本体 < 1 × 10-7 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-7 mbar ls-1
差圧 ゲート部 バルブ:閉方向のみ ≤ 1 bar
    インサート:開方向 ≤ 30 mbar
  開動作時 ≤ 5 mbar
第1回サービスまでのサイクル数   100万
閉時間または開時間   < 2.5 s(開口部高さが150 mmの場合)
許容温度 バルブ本体、ゲート ≤ 120 °C
  アクチュエータ ≤ 60 °C
  電磁弁 ≤ 50 °C
材料 バルブ本体、ゲート EN AW-6082 (3.2315)またはEN AW-5083 (3.3547)
  アクチュエータシャフト AISI 316 (1.4401)
  プレッシャーエレメントのベローズ AISI 633 (AM 350)
シール ゲート、フランジ、フィードスルー、アクチュエータ FKM (Viton®)
ポンプ/排気ポート   ISO-KF 40
取り付け位置   アクチュエータ上または下
位置インジケーター 電圧 24 V DC PNP(オプションでNPN)
標準製品の指定

見積書を入手したり、特定のCADデータをダウンロードしたりするための要件を指定するには、製品の詳細を参照してください。

カスタマイズ済みソリューション

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