1 × 10^-9 mbar～1.2 bar (abs)

04.2 HV角型ゲートバルブL-VAT

ロードロック、プロセスチャンバーの真空封止用

製品の指定

腐食性のプロセス環境でも信頼性の高い真空封止

L-VAT技術を採用した角型ゲートバルブSERIES 04.2は、エッチングやCVDなどの腐食性の高いプロセスに特に適しています。L-VATとは、単一軸の圧空アクチュエータによってゲートをJ字型に動かす技術です。このJ字型の動きでは、ゲートをバルブ本体に接触させることなく垂直方向に閉位置まで移動させてから、さらに水平方向に移動させてゲートシートに押し付け、接続された空気圧に関連する一定の力でシールをゲートシートに接触させます。

パーティクルの発生や活性化を抑えるために、ゲートにはVulcanized sealが装着されています。この仕組みは、標準的なOリングシーリングよりも信頼性が高く、耐久性も高いシーリングソリューションですが、標準のOリングシーリングもオプションとして利用可能です。シャフトフィードスルーは、耐久性の高い金属製の溶接ベローズで密閉されています。

停電時には、オプションのチェックバルブによりSERIES 04.2を空気圧で閉位置と開位置にロックできます。

SERIES 04.2HV角型ゲートバルブL-VATは、メンテナンスフリーの動作期間が長くなるように設計されています（第1回サービスまでのサイクル数は最大300万サイクル）。様々な半導体製造プロセスにおいて、すでに何百もの利用実績のあるSERIES 04.2は、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計だけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、SERIES 04.2はあらゆる面で信頼できる製品です。

SERIES 04.2 HV角型ゲートバルブL-VATはすべて、お客様の仕様に合わせて作られています。ただし、リアサイドの開口部が異なる2つのバルブタイプと、内側または外側チャンバーバルブシートを備えた2つのインサートタイプ、合わせて4つの所定の基本構造があります。

バルブ本体の材質は、アルミニウム、硬質アルマイトまたはニッケルメッキからお選びいただけます。ゲートとボンネットのシールはFKMまたはFFKMです。標準以外のシーリング材はご要望にお応えします。

SERIES 04.2 HV角型ゲートバルブL-VATの主な特徴

特徴：

腐食性の高いプロセス条件でも信頼性の高いオペレーション
スムーズで低振動な動き
パーティクルの発生と再浮遊を防ぐL-VAT技術
ベローズシールシャフトフィードスルー
長期間メンテナンス不要

メリット：

高い稼働率/制約を受けないパフォーマンス
高速動作
低い運用コスト

技術データ

サイズ		46 x 236 mm～50 x 336 mm (1.81" x 9.29"～1.97"～13.23")
アクチュエータ	圧空作動式	複動式、位置インジケーター付き
ボディ素材		アルミニウム
フィードスルー		ベローズ
漏れ率	バルブ本体	< 1 × 10^-9 mbar ls^-¹
	バルブシート	< 1 × 10^-⁹ mbar ls^-¹
圧力範囲		1 × 10^-9 mbar～1.2 bar (abs)
差圧	ゲート部	≤ 1.2 bar
	開動作時	≤ 30 mbar
第1回サービスまでのサイクル数		≥ 300万
許容温度	バルブ本体	≤ 50 °C - ≤ 120 °C
	ゲート	≤ 50 °C - ≤ 120 °C
加熱および冷却速度		≤ 40 °C h^-1
シート/ゲートの温度差		< 40 °C
材料	バルブ本体、ゲート、サービスカバー	EN AW-6082 (3.2315)、EN AW-6061 (3.3211)
	シャフト、ベローズ端部材	AISI 316L (1.4435)
	ベローズ	AISI 633 (AM 350)
シール	ボンネット	FKM (Viton®)
	ゲート	FKM (Viton®)
取り付け位置		アクチュエータ下
インパルス電磁弁		24 VDC、2.5 W (ご要望による)
位置インジケーター	電圧	≤ 50 VDC
	電流	≤ 250 mA
	パワー	≤ 10 W
	インターフェース	ミニD-sub 9ピン
圧縮空気接続	電磁弁なし	雌ネジ⅛“ ISO/NPT
	電磁弁あり	雌ネジM5