太陽電池薄膜の蒸着
ソーラーパネルメーカーは、最新の太陽電池の性能を構成する超薄膜を製造するために、さまざまなコーティングプロセス（CVD、ALD、MBE、PVDなど）を使用していま...
詳細情報
クラス最速の角形ゲートバルブ
SERIES 06.8 大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアはディスプレイや太陽光発電パネルの製造などの大型成膜装置のサイクルタイムに新たな基準を打ち立てる。最適化されたシングルモーション設計のFLAPVATを採用し、シンプルな1回の回転動作でゲートが回転します。 これにより、ゲートサイズに応じて1.2～2秒という、このクラスの大型角型ゲートバルブとしては最速の非常に短い開閉サイクルタイムを実現しています。
またFLAPVATシステムにはフェイルセーフ機能が搭載されています。電源が落ちて、供給圧縮エアーが失われた場合でも、このバルブは機械的に閉位置がロックされます。
このようなスピード性能と信頼性の高いシール機能を長期の連続した生産サイクルにわたって維持するために、SERIES 06.8にはいくつかの重要な機能が追加されています。その一つが適応型のリーク防止。特殊な「ソフト ゲート設計」でサーマルチャンバーの変形を補正し、リークのリスクを回避します。
さらに、ゲートに取り付けられた特殊な熱シールドにより、バルブ本体や調整プロセスチャンバーへの熱伝達も防止。このシールドを使用することで、さらなる水冷が不要になるというメリットもあります。SERIES 06.8は、両側にかかる1気圧の差圧に対応できるように設定できます。
このシリーズは、常温且つクリーンな環境で、最大100万サイクルの高品質かつ長時間の連続生産ができるように設計されています。設置は上下どちら向きでも可能です。
メンテナンスや修理のためのダウンタイムは、単なる煩わしさではなく、生産量の低下やコストにもつながります。その点、SERIES 06.8は設計自体で稼働率を最大化します。それを象徴しているのが、様々なプロセス条件の下で信頼性の高いパフォーマンスを実現する頑丈な設計と、基本的なメンテナンスしか必要としないメンテナンスサイクルの長さ。そのどちらも有効稼働率を向上させます。
メンテナンスが必要な場合でも、生産システムのメンテナンススケジュールに合わせて簡単に行えます。たとえ全ての可動部品のメンテナンス交換が必要な場合でもすぐにできるので、システムメンテナンスのダウンタイムが発生することはありません。
SERIES 06.8はゲートバルブ、インサート、または大気（ATM）ドアからお選びいただけます。様々な設計オプションが用意されているSERIES 06.8は、幅広い要求に合わせたカスタマイズも可能。インパルス電磁弁やゲート開位置の空気圧ロック、水冷機構、各種材料など、豊富なカスタマイズオプションが用意されています。
SERIES 06.8 大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアFLAPVATの主な特徴
特徴：
- 圧倒的に短い開閉サイクルタイム
- 適応型リーク防止
- 有害ガスや高温の環境でも高い信頼性
- 緊急時にはロック
- 長寿命
メリット：
- 高い信頼性
- 高い稼働率、簡単なメンテナンス
- 安定した高サイクルパフォーマンス
- 低コスト
技術データ
| サイズ | 最大100 ×3000 mm (3.94" ×118.11") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式、位置インジケーター付き | |
| ボディ素材 | アルミニウムまたはステンレス鋼 | ||
| フィードスルー | ロータリーフィードスルー | ||
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-5 mbar ls-1 | ||
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | 閉方向 | ≤ 1 bar | |
| 開方向 | ≤ 10 mbar (オプションで1 bar) | ||
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 5 mbar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 100万（常温且つクリーンな環境） | ||
| 閉時間または開時間 | ≤ 1.2 s（開口部高さが50 mmの場合） ≤ 2.0 s（開口部高さが100 mmの場合） |
||
| 許容温度 | アルミニウムバルブ本体/ゲート | ≤ 120 °C | |
| ステンレス製ゲート（オプション） | ≤ 200 °C | ||
| アクチュエータ | ≤ 80 °C | ||
| フランジ間の寸法 | 145 mm（開口部高さ50 mmの場合） 170 mm（開口部高さ51 mm～80 mmの場合） 190 mm（開口部高さ81 mm～100 mmの場合） |
||
| 材料 | アルミニウムバルブ本体/ゲート/フランジ | EN AW-5083 (3.3547) | |
| ステンレス製ゲート （オプション） |
AISI 304 (1.4301) | ||
| シール | ゲート、フランジ | FKM (Viton®) | |
| 取り付け位置 | Valve Actuator |
水平/垂直 |
|
| 位置インジケーター | 電圧 | 10– 30 VDC PNP (オプションでNPN) | |
